部件测试装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了进行电子部件的测试的部件测试装置。该部件测试装置包括部件供给装置、输送爪和部件排出装置。上述多个功能台相互具有不同的功能，同时沿上述输送爪的移动方向等间隔地被排列。上述输送爪包括可分别保持上述电子部件且可相互独立地驱动的多个定位单元。上述多个定位单元沿从上述供给位置向上述测试位置的上述电子部件的输送方向以与上述功能台的排列间隔相同的间隔被排列。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及进行半导体芯片等这样的电子部件的测试的部件测试装置，以及适合使用该部件测试装置输送部件的部件输送方法。
技术介绍
通常，在半导体芯片等这样的电子部件的制造工序中，对上述电子部件进行各种各样的测试。在上述测试中，通常使用被称作IC处理机(IC handler)的部件测试装置。 在这样的部件测试装置中设置有多个输送装置，其中，这些输送装置用于将被测试的电子部件输送到部件测试装置内部中的规定的各个位置(例如供给位置、测试位置和排出位置)。这些输送装置或者将测试前的电子部件提供给部件测试装置，或者将测试前的电子部件配置在部件测试装置内的测试座(test socket)上，或者将测试完毕的电子部件从测试座上取下，或者将测试后的电子部件从部件测试装置排出。如果详细叙述，则是进行如下的动作例如，通过作为输送装置的供给自动装置(robot)将测试前的电子部件装载在梭 (shuttle)上，该梭将测试前的电子部件输送直至测试座的附近。在测试座的附近，作为输送装置的测定自动装置(输送爪)保持装载在梭上的测试前的电子元部件，同时输送至测试座并配置在测试座上。此外，测定自动装置在保持结束了测试的电子部件的同时，将该电子部件从测试座装载在梭上。该梭将结束了测试的电子部件输送直至作为输送装置的回收自动装置附近。然后，回收自动装置保持结束了测试的电子部件，并将该电子部件分配给与测试结果相对应的各回收托盘。例如在日本特开2002-148307号公报中公开有上述部件测试装置的一个例子。在该公报的装置中，部件测试装置、即IC处理机包括排列在一条直线上的多个测试座、以及配置成分别跨越该测试座的多对输送爪。各输送爪包括用于吸附电子部件的吸附机构、以及用于将电子部件压入测试座的压入机构。上述多个测试座的排列不是不变的，而是可以根据对电子部件进行的测试内容或电子部件的大小等而适当地变化的。而且，这些多个测试座并不必须限定于用于相同内容的测试，如果将其用于各个座、或几个座的各个组不同的测试，则根据测试的内容，测试座的形状无需是所谓的座状。因此，从这个意义上说，测试座更适于称为功能台(station)。 然而，上述公报的输送爪以与排列在一条直线上的多个测试座相对应的方式包括吸附机构和压入机构等。因此，即使根据测试对象的电子部件或测试内容的变更等来变更测试座的排列和方式，也无法灵活地应对该变更。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供部件测试装置以及部件输送方法，其可以提高由输送爪执行的电子部件的输送以及配置所涉及的自由度。为了实现上述目的，本专利技术的第一方面提供了用于进行电子部件测试的部件测试装置。该部件测试装置包括部件供给装置，用于将上述电子部件提供到供给位置；输送爪，用于保持上述电子部件，以便将上述电子部件从上述供给位置输送到设置在测试位置上的多个功能台，并将测试完毕的电子部件从上述功能台输送到排出位置；以及部件排出装置，用于将上述电子部件从上述排出位置输出，其中，上述多个功能台相互具有不同的功能，沿上述输送爪的移动方向等间隔地排列上述多个功能台，上述输送爪包括多个定位单元，其中，上述定位单元分别保持上述电子部件且相互独立地驱动，上述多个定位单元沿从上述供给位置向上述测试位置的上述电子部件的输送方向以与上述功能台的排列间隔相同的间隔被排列。本专利技术的第二方面提供了进行电子部件的测试的部件测试装置的部件输送方法。 其中，上述部件测试装置包括部件供给装置，用于将上述电子部件提供到供给位置；输送爪，用于保持上述电子部件，以便将上述电子部件从上述供给位置输送到设置在测试位置上的多个功能台，并将测试完毕的电子部件从上述功能台输送到排出位置；以及部件排出装置，用于将上述电子部件从上述排出位置输出，上述部件输送方法包括沿上述输送爪的移动方向等间隔地配置相互具有不同功能的上述多个功能台；将分别保持上述电子部件且相互独立地驱动的多个定位单元设置在上述输送爪上；将被上述多个定位单元中的第一定位单元保持的第一电子部件配置在上述多个功能台中的第一功能台中；对配置在上述第一功能台中的第一电子部件进行测试；上述测试结束之后，将上述输送爪沿上述移动方向移动相当于与上述功能台的排列间隔相对应的间隔；以及将被与上述第一定位单元邻接的第二定位单元保持的第二电子部件配置在第一功能台上，同时将被第一定位单元保持的上述第一电子部件配置在与上述第一功能台邻接的第二功能台。本专利技术第三方面提供了进行电子部件的测试的部件测试装置的部件输送方法，其中，上述部件测试装置包括部件供给装置，用于将上述电子部件提供到供给位置；两个输送爪，用于保持上述电子部件，以便将上述电子部件从上述供给位置输送到设置在测试位置上的多个功能台，并将测试完毕的电子部件从上述功能台输送到排出位置；以及部件排出装置，用于将上述电子部件从上述排出位置输出，上述的部件输送方法包括沿上述输送爪的移动方向等间隔地配置相互具有相同功能的上述多个功能台；将分别保持上述电子部件且相互独立地驱动的多个定位单元设置在上述各个输送爪上、即各个输送爪的多个定位单元沿从上述供给位置向上述测试位置的上述电子部件的输送方向以与上述功能台的排列间隔相同的间隔被排列；将通过上述两个输送爪保持的电子部件分配给上述多个功能台；以及通过上述两个输送爪的协动，将被上述两个输送爪保持的上述电子部件配置在分配的功能台。本专利技术第四方面提供了进行电子部件的测试的部件测试装置的部件输送方法，其中，上述的部件测试装置包括部件供给装置，用于将上述电子部件提供到供给位置；输送爪，用于保持上述电子部件，以便将上述电子部件从上述供给位置输送到设置在测试位置上的多个功能台，并将测试完毕的电子部件从上述功能台输送到排出位置；以及部件排出装置，用于将上述电子部件从上述排出位置输出，上述的部件输送方法包括沿上述输送爪的移动方向等间隔地配置相互具有相同功能的上述多个功能台；将分别保持上述电子部件且相互独立地驱动的多个定位单元设置在上述输送爪上；通过上述多个定位单元保持数量多于上述功能台的数量的电子部件；以及通过分别驱动与上述多个功能台的全部或其中的一部分对应的定位单元，将通过上述定位单元保持的电子部件配置在对应的上述功能台。附图说明图1是本专利技术的第一实施方式所涉及的部件测试装置的立体图；图2是图1的部件测试装置中的部件测试部的立体图；图3是图1的部件测试装置的输送爪的立体图；图4是示出图1的部件测试装置的输送爪的控制系统相关的电结构的框图；图5A是表示基于图1的部件测试装置的电子部件的输送状态的俯视图；图5B是图5A的正视图；图6A是表示基于图1的部件测试装置的电子部件的输送状态的俯视图；图6B是图6A的正视图；图7A是表示基于图1的部件测试装置的电子部件的输送状态的俯视图；图7B是图7A的正视图；图8A是表示基于图1的部件测试装置的电子部件的输送状态的俯视图；图8B是图8A的正视图；图9A是表示基于图1的部件测试装置的电子部件的输送状态的俯视图；图9B是图9A的正视图；图IOA是表示基于图1的部件测试装置的电子部件的输送状态的俯视图；图IOB是图IOA的正视图；图IlA是表示基于本专利技术的第二实施方式所涉及的部件测试装置的电子部件的输送状态的俯视图；图IlB是图IlA的正视图；图1本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种部件测试装置，用于进行部件测试，所述部件测试装置的特征在于，包括：部件保持部，能够保持所述部件；多个定位单元，包括所述部件保持部；多个输送爪，包括多个所述定位单元；水平移动体，用于使所述输送爪移动；以及多个功能台，用于放置所述部件，其中，多个所述定位单元分别包括用于将所述部件放置在所述功能台上的放置机构，多个所述功能台沿所述输送爪的移动方向配置，多个所述功能台沿所述输送爪的移动方向以与所述定位单元的配置间隔相等的间隔排列。

【技术特征摘要】
2008.03.11 JP 2008-0614521.一种部件测试装置，用于进行部件测试，所述部件测试装置的特征在于，包括 部件保持部，能够保持所述部件；多个定位单元，包括所述部件保持部； 多个输送爪，包括多个所述定位单元； 水平移动体，用于使所述输送爪移动；以及多个功能台，用于放置所述部件，其中，多个所述定位单元分别包括用于将所述部件放置在所述功能台上的放置机构， 多个所述功能台沿所述输送爪的移动方向配置，多个所述功能台沿所述输送爪的移动方向以与所述定位单元的配置间隔相等的间隔排列。2.根据权利要求1所述的部件测试装置，其特征在于， 所述放置机构能够独立地将所述部件放置在所述功能台上。3.根据权利要求1所述的部件测试装置，其特征在于， 多个所述定位单元分别包括多个所述部件保持部， 多个所述部件保持部等间隔地排列。4.根据权利要求1所述的部件测试装置，其特征在于，多个所述定位单元沿所述输送爪的移动方...

【专利技术属性】
技术研发人员：盐泽雅邦，藤森广明，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP