【技术实现步骤摘要】
本技术涉及集成电路制作的
，具体地说是一种用于UV紫外灯、曝光 灯的灯碗或灯罩。技术背景目前，市场上应用的曝光灯灯碗主要有两种形式1、用石英玻璃整体压制的椭圆 形反射灯罩，灯罩内部镀反射膜，这种石英反射灯罩虽然使用效果很好，但不易制造，制作 成本很高，价格昂贵，而且玻璃材质易碎，反射镀层在高温环境下容易脱落。2、采用光学聚 光镜，加上多组蝇眼透镜组成，这种灯源存在UV光线能量小、UV紫外线能量利用率低、均勻 度差的缺点。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种改进的双曲面镜反射灯碗，它可克服现有技术中 制作成本很高、价格昂贵，UV光线能量小、能量利用率低、均勻度差的缺点的一些不足。为了实现上述目的，本技术的技术方案是一种双曲面镜反射灯碗，它主要包 括碗体，其特征在于碗体内设有至少4片双曲面光学镜片，相邻的两片双曲面光学镜片之 间的间隙小于0. 5mm。使用时，本技术的双曲面光学镜片依次排列在铝质碗体内形成灯碗，相邻的 双曲面光学镜片之间为无缝拼接。本技术的曲面镜反射灯碗能有效提高紫外灯的UV 紫外线能量利用率，而且投射光线均勻，散热性能良好，经久耐用，同时...
【技术保护点】
一种双曲面镜反射灯碗，它主要包括碗体，其特征在于：碗体内设有至少４片双曲面光学镜片，相邻的两片双曲面光学镜片之间的间隙小于０．５ｍｍ。
【技术特征摘要】
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