【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及具有防反射功能的。具体涉及其中由凸部或凹 部构成的多个构造体以小于等于可见光的波长的细微节距在表面上配置多个的光学元件 及其制造方法。
技术介绍
目前在使用玻璃、塑料等透光性基板的光学元件上，有时为了防止光的表面反射 而进行表面处理。作为这种表面处理，有时在光学元件表面形成细微且致密的凹凸(蛾眼) (例如参考非专利文献1)。一般在光学元件表面设置周期性的凹凸形状的情况下，光透过该处时发生衍射， 透过光的直进成分大幅度减少。但是，凹凸形状的节距在比透过光的波长短的情况下不发 生衍射，例如，使凹凸形状为后述的矩形时，对与其节距或深度等对应的单一波长的光可得 到有效的防止反射的效果。作为利用电子束曝光制造的蛾眼构造体，披露了细微的帐篷状的蛾眼构造体(节 距约300mm、深度约400mm)(例如参考非专利文献2)。该蛾眼构造体可得到反射率为以 下的高性能防反射特性。作为利用光盘的原盘制造工艺和蚀刻工艺结合的方法制造的蛾眼构造体，披露了 吊钟形和椭圆锥台形状的蛾眼构造体(例如参考专利文献1)。该构造体可得到接近电子束 曝光的防反射特性。非专利文献1 参考《光...
【技术保护点】
一种具有防反射功能的光学元件，其特征在于，包括：具有表面的基体；以及以小于等于可见光的波长的细微节距在所述基体的表面配置多个且由凸部或凹部构成的多个构造体，形成所述构造体的材料的弹性模量大于等于１ＭＰａ小于等于１２００ＭＰａ，所述构造体的高宽比大于等于０．６小于等于１．５。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：高桥秀俊，饭田文彦，木曾弘之，伊藤优，田泽洋志，西村良，
申请(专利权)人：索尼公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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