一种激光分光装置及激光加工设备制造方法及图纸

技术编号:6288862 阅读:164 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术涉及用激光束加工,尤其涉及用激光束加工中的一种激光分光装置及激光加工设备。本实用新型专利技术提供了一种激光分光装置,包括输入机构和输出机构,还包括分光机构,所述输入机构包括发射出激光输入光线的激光器和将所述激光器发射出的激光输入光线扩束并准直形成激光扩束光线的扩束镜,所述分光机构包括调节所述激光扩束光线的振动方向形成激光调后光线的第一半波片和将所述激光调后光线向第一分光路径和第二分光路径分光的分光棱镜。本实用新型专利技术还提供了一种激光加工设备。本实用新型专利技术的有益效果是有利于分光之后加工的一致性,可以大幅提高激光的加工速度,降低成本,特别适用对速度要求较高,对激光能量要求较低的加工,如对IC的加工。(*该技术在2020年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

一种激光分光装置及激光加工设备
本技术涉及用激光束加工,尤其涉及用激光束加工中的一种激光分光装置及 激光加工设备。
技术介绍
随着工来的快速发展,激光加工工艺对高速度、低成本的要求更为迫切,而传统激 光加工所用的激光加工设备多是一个激光器对应一个激光加工头,这种模式成本较高,又 或者用光纤进行耦合分光,这种模式虽然提高了速度,但是,光纤耦合的成本极高,激光能 量损耗也相当大。
技术实现思路
为了解决现有技术中激光加工设备成本高的缺陷,本技术提供了一种激光分 光装置及激光加工设备。本技术提供了一种激光分光装置,包括输入机构和输出机构,还包括分光机 构,所述输入机构、分光机构和输出机构按照激光的传播顺序设置,所述输入机构包括发射 出激光输入光线的激光器和将所述激光器发射出的激光输入光线扩束并准直形成激光扩 束光线的扩束镜,所述分光机构包括调节所述激光扩束光线的振动方向形成激光调后光线 的第一半波片和将所述激光调后光线向第一分光路径和第二分光路径分光的分光棱镜。作为本技术的进一步改进,所述输出机构包括对通过所述分光棱镜分向所述 第一分光路径的第一分光光线进行反射的全反射镜片。作为本技术的进本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光分光装置,包括输入机构和输出机构,其特征在于:还包括分光机构,所述输入机构、分光机构和输出机构按照激光光路依次设置,所述输入机构包括发射出激光输入光线的激光器(1)和将所述激光器(1)发射出的激光输入光线扩束并准直形成激光扩束光线的扩束镜(2),所述分光机构包括调节所述激光扩束光线的振动方向形成激光调后光线的第一半波片(3)以及将所述激光调后光线分别向第一分光路径和第二分光路径分光的分光棱镜(4)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:孙玉芬高云峰
申请(专利权)人:深圳市大族激光科技股份有限公司
类型:实用新型
国别省市:94[]

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