【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种太阳电池制造过程中的设备部件,尤其涉及一种用于卧式扩 散炉的扩散均流板。
技术介绍
太阳电池作为新兴的清洁可再生能源,因具有直接将太阳能转换为电能,且寿命 长、维护简单、可实现无人值守等优势而备受瞩目。太阳能电源系统取得了越来越广泛的应用。扩散工艺是常规太阳电池制备过程中重要的一道工艺,目前在大批量生产中,普 遍采用了卧式扩散炉,其工作原理是,在高温下,通过导入液态P0C13,与硅片发生置换反 应,从而在硅片上扩散形成一层P,形成PN结。液态P0C13通过N2管路被通入扩散炉管内,普遍采用在炉管尾部安装一勻流板,使 气体能够均勻地与硅片反应。因此,勻流板的结构对气体的均勻性十分重要。现有技术采 用的勻流板结构如图1所示,它包括进口管1、出口管2和连接在进口管和出口管之间的多 个连通管3,?0(13气体从各连通管3之间的一个个平直的开口 4通过,进入扩散炉。采用 这种结构的勻流板,扩散工艺的均勻性只能保持在片内波动范围为士5%、片间波动范围为 士 8%。
技术实现思路
本技术的目的,就是为了解决现有技术存在的上述问题,提供一种新型结构 的用于卧式扩散炉的扩散均流板。为了达到上述目的,本技术采用了以下技术方案一种用于卧式扩散炉的扩 散均流板,包括进口管、出口管和连接在进口管和出口管之间的多个连通管,其特点是,所 述的连通管为中空波纹管形连通管。所述的中空波纹管形连通管上间隔设有多个凸环,使连通管沿轴向形成凹凸间隔 相连的波纹结构。采用本技术的用于卧式扩散炉的扩散均流板,可使P0C13气体更均勻地通过, 将扩散工艺的片内均勻性提高至波动范围为士3%、片间 ...
【技术保护点】
一种用于卧式扩散炉的扩散均流板,包括进口管、出口管和连接在进口管和出口管之间的多个连通管,其特征在于:所述的连通管为中空波纹管形连通管。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:张忠卫,
申请(专利权)人:上海神舟新能源发展有限公司,上海太阳能科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:31[中国|上海]
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