用于污染物处理系统的ｐＨ值测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种用于污染物处理系统的ｐＨ值测量装置，包括：稀释箱，液体流通管道，第一自来水通入管道，悬浮液位器，ｐＨ值测量探头，ｐＨ值显示装置以及第一排泄管道。所述ｐＨ值测量探头位于所述稀释箱内，处于被稀释后ｐＨ值更接近中性的溶液环境下，这样可以减弱溶液对所述ｐＨ值探头的腐蚀，延长所述ｐＨ值测量探头的寿命，保证所述ｐＨ值测量探头有稳定的性能，准确指示所述污染物处理系统中液体的ｐＨ值，进而所述污染物处理系统可以根据ｐＨ值准确控制污染物和反应物的计量，从而提高所述污染物处理系统的稳定性和使用寿命，保障污染物的有效清除。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种PH值测量装置，尤其是用于污染物处理系统的PH值测量装置。
技术介绍
在半导体加工制造厂，由于使用的化学物质品种比较多，故产生的污染物种类也 非常多，如氨气(NH3)、氯化氢(HCl)、硝酸(HNO3)、硫酸(H2SO4)等，为降低排放的污染程度， 需要在污染物处理系统中处理污染物。例如，在氨气处理系统中，利用硫酸与氨气进行反 应，吸收氨气污染物。在所述氨气处理系统中，PH值测量装置是控制这一过程的重要装置， 所述PH值测量装置测定所述氨气处理系统中液体环境的PH值，根据PH值控制硫酸的计 量。当所述氨气处理系统中溶液的PH值小于HH(HH通常为2 4的某一数值)时，氨气可 以有效地彻底清除。所以，当所述氨气处理系统中溶液的PH值高于HH时，PH值测量装置 会将信息传递给所述氨气处理系统，所述氨气处理系统相应地增加硫酸的计量，使所述氨 气处理系统中溶液的PH值降低到HH以下，从而保证氨气的彻底清除。图1为现有技术中氨气处理系统的结构示意图，如图1所示，氨气处理系统包括 氨气处理箱100’，所述氨气处理箱100’是氨气和硫酸进行反应的主要场所；氨气通入管道 102’，所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于污染物处理系统的ＰＨ值测量装置，其特征在于，包括：稀释箱；液体流通管道，所述液体流通管道的一端密闭连接所述稀释箱，另一端密闭连接在所述污染物处理系统的循环管道的流入口和流出口之间；第一自来水通入管道，所述第一自来水通入管道与所述稀释箱密闭连接；第一自来水控制阀，所述第一自来水控制阀设置在所述第一自来水通入管道上，控制自来水的流入；悬浮液位器，所述悬浮液位器悬浮在所述稀释箱内部的液体上，用于实时测量所述稀释箱内的液位高度；ＰＨ值测量探头，所述ＰＨ值测量探头位于所述稀释箱内部；ＰＨ值显示装置，所述ＰＨ值显示装置与所述ＰＨ值测量探头连接；第一排泄管道，所述第一排泄管道与所述稀释箱密闭连接；第...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张英，谢方方，张玉兵，朱重淑，姚念，
申请(专利权)人：武汉新芯集成电路制造有限公司，中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：83[中国|武汉]