石英玻璃沉积载物装置制造方法及图纸

一种石英玻璃沉积载物装置，它具有底座和固定在底座上的立柱，安装在立柱上有升降丝杠副和升降导轨副以及由两个交流伺服电机与一个双输入谐波减速机组成的升降驱动机构，固定连接升降丝杠副的丝杠螺母和升降导轨副的导轨滑块有一升降座，安装在升降座上有平移丝杠副和平移导轨副及由交流伺服电机与蜗轮蜗杆减速机组成的平移驱动机构，固定连接在平移丝杠副的丝杠螺母和平移导轨副的导轨上有一平移座，竖置安装在平移座上有上端设置托盘的立轴，与该立轴相配合有由交流伺服电机与蜗轮蜗杆减速机组成的旋转驱动机构。本实用新型专利技术适合于石英玻璃生产的立式沉积炉使用，能够满足工艺要求的运行速度、运行精度。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及石英玻璃生产设备，具体涉及一种石英玻璃沉积载物装置。
技术介绍
石英玻璃通常是使用沉积炉在沉积砣面上接受燃烧下料结晶形成。以往石英玻璃 生产采用卧式CVD生产工艺，所使用的沉积炉为卧式炉。目前，由于立式沉积炉具有沉积效 率高、能耗低、适合生产大尺寸规格石英玻璃锭的特点而被推崇，但是目前还没有一种适合 立式沉积炉使用的能够满足运行速度、运行精度要求的石英玻璃沉积载物装置，制约了石 英玻璃生产新工艺的推广应用。
技术实现思路
本技术的目的在于针对上述问题，提供一种适合立式沉积炉使用的石英玻璃 沉积载物装置。实现上述目的的技术方案是一种石英玻璃沉积载物装置，它包括有底座，在底座 的上面固定有立柱，在立柱上设有竖置的升降丝杠和置于升降丝杠两侧的升降导轨，与升 降丝杠和升降导轨相配合有升降丝杠螺母和升降导轨滑块，安装在立柱上有由两个交流伺 服电机与一个双输入谐波减速机组成的升降驱动机构，该升降驱动机构经同步带传动机构 连接升降丝杠，与升降丝杠螺母和升降导轨滑块固定连接有一升降座，在升降座的上面设 有横置的平移丝杠和置于平移丝杠两侧的平移导轨滑块，与平移丝杠和平移导轨滑块相配 合有平移本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石英玻璃沉积载物装置，其特征是：它包括有底座（１），在底座（１）的上面固定有立柱（２），在立柱（２）上设有竖置的升降丝杠（３）和置于升降丝杠（３）两侧的升降导轨（４），与升降丝杠（３）和升降导轨（４）相配合有升降丝杠螺母（５）和升降导轨滑块（６），安装在立柱（２）上有由两个交流伺服电机与一个双输入谐波减速机组成的升降驱动机构（７），该升降驱动机构（７）经同步带传动机构（８）连接升降丝杠（３），与升降丝杠螺母（５）和升降导轨滑块（６）固定连接有一升降座（９），在升降座（９）的上面设有横置的平移丝杠（１０）和置于平移丝杠（１０）两侧的平移导轨滑块（１１），与平移丝杠（１０）和平移导轨滑块（１１...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王长文，何庆，
申请(专利权)人：秦皇岛耀华玻璃机械制造有限责任公司，
类型：实用新型
国别省市：13[中国|河北]