可调谐宽带相位自补偿延迟器制造技术

一种可调谐宽带相位自补偿延迟器，由两块薄膜型相位延迟片、两个三维光学调整架和旋转平台组成。两块薄膜相位延迟片置于三维光学调整架上通过调节步进电机按要求转动，入射光束分别在两块相位延迟膜片上反射，实现相位自补偿延迟和特定的宽带相位延迟。在宽波段内按要求调节步进电机转动，使得在两块膜片上以不同角度入射，获得稳定的所需相位延迟，可用于飞秒激光加工。本发明专利技术具有结构简单，容易制作，容易调节，通过步进电机的不同转角可以获得相位延迟补偿或产生特定宽带相位延迟。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及相位延迟器，特别是一种可调谐宽带相位自补偿延迟器。
技术介绍
相位是描述光束本征特征的一个重要参数，也是时间和空间的函数。在光的干涉中，相位差扮演着重要的角色，可以得到预想的干涉效果，在光的偏振研究中，相位差更加重要，在相互垂直振动方向上存在不同相位差，可以实现从圆偏振光到线偏振光的逐渐转变。在激光加工中，相位延迟器就显得至关重要，它决定了加工时的精度。因此，在涉及光干涉及偏振态改变的应用中，相位或相位差的控制和补偿就显得比较重要。基于波片和晶体相位延迟器的制作成本较高，只能在单一波长实现单一相位延迟，而且通光口径较小。因此，薄膜相位延迟器的产生能够弥补这些不足，满足使用需要。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种可调谐宽带相位自补偿延迟器，该装置可在宽波段内改变入射光相位，从而改变入射光偏振态，能够保持相位延迟稳定，也可实现在一定范围内宽带相位延迟的改变。该装置应具有结构简单，精度高，适用于程序驱动控制和手动调节， 以及多用途等特点，可实现自动化调节。本专利技术的技术解决方案如下一种可调谐宽带相位自补偿延迟器，其特点在于包括第一光学调整架、第二光学调整架、第一宽本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种可调谐宽带相位自补偿延迟器，其特征在于包括第一光学调整架（１）、第二光学调整架（２）、第一宽带相位延迟片（４）、第二宽带相位延迟片（３）和调节平台，所述的调节平台由第一步进电机（５）、第二步进电机（６）、固定底板（７）和转动台（８）组成，所述转动台（８）固定在所述的固定底板（７）上，所述的固定底板（７）上设有主步进电机（１０），所述的转动台（８）由主步进电机（１０）驱动，所述的第一宽带相位延迟片（４）和第二宽带相位延迟片（３）分别贴设在所述的第一光学调整架（１）和第二光学调整架（２）的镜框内，所述的第一光学调整架（１）和第二光学调整架（２）分别通过所述的第一步进电机（５）和第二步进电机...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李星，李小芸，黄建兵，魏朝阳，朱亚丹，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：31