【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种光纤端面微光学器件数字光刻的装置。
技术介绍
光纤微光学器件具备梯度折射率透镜的独特性能，并且具有光斑直径小、分辨率 高、光谱范围宽、透过率高、体积小、重量轻等特点，特别适合制作各种无源器件，它已应用 于各种光信号的传输和聚焦，成为微小光学中十分重要的一种微型元件。上世纪八十年代， 国外科学家利用光学曝光的方法，用光刻胶在光纤端面上制作了半球透镜和柱面镜，从而 使得光纤与激光器之间的耦合效率比直接耦合的情况提高了四倍，但是其制作系统仅能制 作固定形状的光纤微光学器件，而且光纤端面的半球透镜和柱面镜均由负性光刻胶组成， 存在易变形、易变质等问题，保存困难。近年来，随着微细加工技术及二元光学器件制作的 发展，先后出现了几种光纤微光学器件的制作方法。目前，国内外研究比较多的方法主要 有刻蚀法，熔融拉伸法和研磨抛光法。它们都有自己的优缺点(1)蚀刻法，是选用特制的 溶液，通过调节光纤和溶液的作用时间，加热溶液的温度，光纤浸入溶液的深度等，可以得 到不同形状和尺寸的锥形端面，常用方法是通过光纤浸入腐蚀液一定深度，然后以一定速 度向外抽出，不同水平的光纤表面...
【技术保护点】
一种光纤端面微光学器件数字光刻的装置，它包括调节台、半反半透分光棱镜、紫外光源、扩束准直均匀器、计算机、数字微镜器件、紫外线截止滤光片、ＬＥＤ光源、面阵ＣＣＤ、精缩投影物镜、光纤，其特征是数字微镜器件和面阵ＣＣＤ通过导线连接计算机，ＬＥＤ光源的输出光线通过紫外线截止滤光片照射数字微镜器件，紫外光源的输出光线通过扩束准直均匀器照射数字微镜器件，数字微镜器件、半反半透分光棱镜、精缩投影物镜和光纤依次排序形成一条直线，光纤连接调节台。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：高益庆，余秋香，罗宁宁，龚勇清，陈敏，肖孟超，喻立霞，叶青，
申请(专利权)人：南昌航空大学，
类型：实用新型
国别省市：36
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