The depth of surface plasmon subwavelength microcavity lasers by deep subwavelength surface plasmon resonant cavity (1), a double output straight waveguide (2) and a metal film substrate (3); the position relationship between the depth of subwavelength surface plasmon resonant cavity (1) and a double output straight waveguide (2) transverse coupling, and the depth of subwavelength surface plasmon resonant cavity (1) and a double output straight waveguide (2) in the preparation of metal thin film substrate (3) above the pump light source (4) perpendicular to the depth of subwavelength surface plasmon resonant cavity (1) into the end. The invention adopts nanometer scale surface plasmon waveguide devices to achieve ultra small spot laser, photonic components and electronic components are integrated in the combination of the two nanometer chip possible for nano integrated chip provides a new type of laser source - the depth of surface plasmon Echo Wall mode laser. The utility model has the advantages of small output facula, high strength, simple process, etc..
【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于微纳光电子及激光
，特别涉及一种深度亚波长表面等离子体 激元微腔激光器。
技术介绍
光是自然界中能量存在的一种形式，而激光是一种具有特殊性能的光。普通的 光不具有所谓的相干性。光的相干性是指两束具备一定条件的光汇聚在一起能产生干涉现 象。激光除了具有相干性外，还有单色性好(即一束激光中主要有一个波长或频率)，方 向性好(即使传播到很远的地方，能量还主要集中在一个很小的光束内)的优良性能。正 因为有了以上这些特性，激光在工业、民用和军事中都有广泛的应用。自从世界上第一台 激光器问世以来，激光技术日新月异，并不断影响和改变着我们的生活。激光器是光电设备与系统装备的关键器件。由于激光器有体积小、重量轻、亮度 高、电光转换效率高、功耗低、低压工作、可直接调制等一系列优点，已广泛应用于光电子 领域。在光电子应用中。激光器的性能优劣决定了光电设备与系统的性能优劣。激光器的 发展水平也决定了光电设备与系统的发展水平。通过引入半导体纳米线和纳米阵列，目前 的微型激光器已经达到衍射极限的水平。为进一步减小尺寸，突破衍射极限，研究人员引入 新型的导光机制，因此新...
【技术保护点】
１．一种深度亚波长表面等离子体激元微腔激光器，其特征在于：该激光器由深度亚波长表面等离子体激元谐振腔（１），双输出端直波导（２）和金属薄膜衬底（３）构成；其位置关系为深度亚波长表面等离子体激元谐振腔（１）与双输出端直波导（２）横向耦合，并且，深度亚波长表面等离子体激元谐振腔（１）与双输出端直波导（２）制备在金属薄膜衬底（３）之上，泵浦光源（４）垂直于深度亚波长表面等离子体激元谐振腔（１）的端面进入。
【技术特征摘要】
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