【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及例如用于控制高频信号的接触开关。
技术介绍
近年来随着集成技术的进步，对于电子装置尺寸减小、重量减轻、低操作电压、低 功耗以及高频率运行得以迅速地推进。特别是，在诸如移动电话的移动通讯终端装置的技 术领域中，除了上述严格要求的需要外，还需要高性能，并且MEMS (微机电系统)作为解决 这些矛盾问题的技术之一已经引起人们的注意。MEMS是通过硅工艺技术融合微机械部件和 电子电路部件的系统。MEMS技术具有诸如精确加工的优良特性，能够实现紧凑和降低成本 ^ SoC (system on a chip，片上系统)，而实现高性能。MEMS技术使用于各种领域中，例如，用于机械方式地执行传输高频信号的信号线 的耦合/断开的开关。在用于高频信号的开关中，所希望的是有效地降低由插入开关引起 的功耗(插入损耗)，并且充分地改善绝缘性，以保证信号质量。接触开关被当作同时满足 这两个特性的开关，并且用作重要的部件，特别是在严格要求质量的电路中。此外，接触开 关还期待用于带载为兆赫(MHz(IOfiHz))至千兆赫(GHz(IOi3Hz))的高速度大容量通讯的前 端电路...
【技术保护点】
１．一种接触开关，包括：多个第一触点，并列设置在基板上；活动构件，包括面对所述多个第一触点的多个梁，并且形成为在所述基板面内沿着所述第一触点的排列方向可滑动；以及多个第二触点，分别提供在所述梁的与所述第一触点相面对的面上。
【技术特征摘要】
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