一种在刀具上涂覆涂层的制备方法技术

一种在刀具上涂覆涂层的制备方法，涉及一种刀具。将数控刀片放入反应室内抽真空，通入TiCl4、N2和H2气体混合物，在刀具表面上沉积TiN层；通入TiCl4、N2、CH3CN和H2气体混合物，在TiN层表面沉积MT-TiCN层；关闭气源，通入TiCl4、AlCl3，CO、CO2、CH4、N2和H2气体混合物，沉积粘结相AlTiCNO层；在TiCl4、CO、CO2、CH4、N2和H2气体混合物中，沉积TiCO层；在CO2、AlCl3、HCl和H2气体混合物中，沉积氧化铝成核层；通入AlCl3、CO、CO2、HCl，H2S和H2气体混合物中，沉积氧化铝涂层。涂层表面光洁度较高、晶粒均匀较细密。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种刀具，尤其是涉及。
技术介绍
在切削工具表面涂覆涂层是提高切削工具性能的重要途径之一，涂层刀具具有表 面硬度高、耐磨性好、化学性能稳定、耐热耐氧化、摩擦系数小和热传导率低等特点，切削时 可比未涂层刀具提高寿命5 10倍以上。切削工具的表面涂层技术作为市场需求发展起 来的一项优质表面改性技术，由于该项技术可使切削工具获得优良的综合机械性能，不仅 可有效地提高切削工具使用寿命，而且还能大幅度地提高机械加工效率，因此该项技术成 为切削工具制造的关键技术之一。Al2O3涂层具有很高的化学稳定性和优良的热障特性，是高速切削刀具理想的涂层 材料。此外，需要强调的是，目前，CVD仍然是能够经济生产高质量的Al2O3涂层的唯一技术 手段。可以通过CVD工艺沉积Al2O3涂层可以获得三种不同的相，分别是α -Al2O3，k_Al203 和Y-Al2O3，其中α-Al2O3是唯一稳定的Al2O3相。亚稳定的κ相和、相将通过如沉积中 的热处理、沉积后的热处理以及切削加工中产生的热量而转化为稳定的α相。在相变时发 生的体积收缩将降低并最终破坏κ-Al2O3涂层的粘附性，如美国专利US5本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种在刀具上涂覆涂层的制备方法，其特征在于包括以下步骤：１）将数控刀片放入反应室内；２）将反应室抽成真空状态；３）通过加热罩将反应室加热、加压下，通入ＴｉＣｌ↓［４］、Ｎ↓［２］和Ｈ↓［２］的气体混合物，在刀具表面上沉积ＴｉＮ层；４）沉积完ＴｉＮ层后，将反应室温度稳定在８５０～９５０℃，并且在５０～５００ｍｂａｒ的压强下，通入ＴｉＣｌ↓［４］、Ｎ↓［２］、ＣＨ↓［３］ＣＮ和Ｈ↓［２］的气体混合物，在ＴｉＮ层表面上沉积ＭＴ－ＴｉＣＮ层；５）关闭气源，然后通入ＴｉＣｌ↓［４］、ＡｌＣｌ↓［３］，ＣＯ、ＣＯ↓［２］、ＣＨ↓［４］、Ｎ↓［２］和Ｈ↓［２］的气体混合物，在温度为９００～１０２０℃和在压强...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘浩，陈艺聪，
申请(专利权)人：厦门金鹭特种合金有限公司，厦门钨业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：92