【技术实现步骤摘要】
本技术属于化合物晶体的制造设备,具体是一种单晶炉。
技术介绍
单晶炉是人工制造晶体的重要设备,一般晶体的产生过程是将原料混合后,成形、 煅烧、熔融,再在单晶炉中拉出单晶。因此单晶炉对最终生产出的单晶质量影响重大。目前制造晶体在原料熔融与晶体生长过程中,常因原料组分的偏聚而产生熔体老化现象,并导致晶体生长失败,严重影响了产品的生长成功率,因此需要对现有的单晶炉进行改进。
技术实现思路
本技术的目的是提供一中带掺杂盘和旋转托盘的单晶炉,该单晶炉可以克服晶体生长时熔体老化现象影响生长成功率的问题,同时掺杂方便均勻。本技术的技术方案是一种单晶炉,包括炉体、坩埚、上旋转电机、下旋转电机、上升降电机、固定板和下升降电机,其特征在于所述炉体固定在固定板上,炉体内设有坩埚和保温层,坩埚固定在托盘上且坩埚内设有掺杂盘,该掺杂盘两端连接导流管,导流管另一端与保温层连接;所述炉体上方设有上旋转电机和上升降电机,炉体下方设有下旋转电机和下升降电机,所述下升降电机与炉体之间还设有托板。本技术中所述下旋转电机的转动轴依次穿过托板和炉体与托盘连接。本技术中所述托板、上升降电机和下升降电机都固定在固定板上。本技术克服了晶体熔体老化导致生长失败,生长成功率低的问题,同时设置了掺杂盘使得掺杂方便均勻。同时本技术结构简单、操作方便,适合广泛使用。附图说明图1、本技术结构示意图图中1-炉体,2-保温层,3-托盘,4-坩埚,5-掺杂盘,6-导流管,7_上旋转电机,8-上升降电机,9-固定板,10-下升降电机,11-下旋转电机,12-托板。具体实施方式以下结合附图对本技术的技术方案做进一步描述,如图1所 ...
【技术保护点】
1.一种单晶炉,包括炉体(1)、坩埚(4)、上旋转电机(7)、下旋转电机(11)、上升降电机(8)、固定板(9)和下升降电机(10),其特征在于:所述炉体(1)固定在固定板(9)上,炉体(1)内设有坩埚(4)和保温层(2),坩埚(4)固定在托盘(3)上且坩埚(4)内设有掺杂盘(5),该掺杂盘(5)两端连接导流管(6),导流管(6)另一端与保温层连接;所述炉体(1)上方设有上旋转电机(7)和上升降电机(8),炉体(1)下方设有下旋转电机(11)和下升降电机(10),所述下升降电机(10)与炉体(1)之间还设有托板(12)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:周雅清,
申请(专利权)人:乐山凯亚达光电科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:51
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