单晶炉制造技术

技术编号:6019289 阅读:230 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种单晶炉,包括炉体、坩埚、上旋转电机、下旋转电机、上升降电机、固定板和下升降电机,所述炉体固定在固定板上,炉体内设有坩埚和保温层,坩埚固定在托盘上且坩埚内设有掺杂盘,该掺杂盘两端连接导流管,导流管另一端与保温层连接;所述炉体上方设有上旋转电机和上升降电机,炉体下方设有下旋转电机和下升降电机,所述下升降电机与炉体之间还设有托板。本实用新型专利技术克服了晶体熔体老化导致生长失败,生长成功率低的问题,同时设置了掺杂盘使得掺杂方便均匀。同时本实用新型专利技术结构简单、操作方便,适合广泛使用。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术属于化合物晶体的制造设备,具体是一种单晶炉
技术介绍
单晶炉是人工制造晶体的重要设备,一般晶体的产生过程是将原料混合后,成形、 煅烧、熔融,再在单晶炉中拉出单晶。因此单晶炉对最终生产出的单晶质量影响重大。目前制造晶体在原料熔融与晶体生长过程中,常因原料组分的偏聚而产生熔体老化现象,并导致晶体生长失败,严重影响了产品的生长成功率,因此需要对现有的单晶炉进行改进。
技术实现思路
本技术的目的是提供一中带掺杂盘和旋转托盘的单晶炉,该单晶炉可以克服晶体生长时熔体老化现象影响生长成功率的问题,同时掺杂方便均勻。本技术的技术方案是一种单晶炉,包括炉体、坩埚、上旋转电机、下旋转电机、上升降电机、固定板和下升降电机,其特征在于所述炉体固定在固定板上,炉体内设有坩埚和保温层,坩埚固定在托盘上且坩埚内设有掺杂盘,该掺杂盘两端连接导流管,导流管另一端与保温层连接;所述炉体上方设有上旋转电机和上升降电机,炉体下方设有下旋转电机和下升降电机,所述下升降电机与炉体之间还设有托板。本技术中所述下旋转电机的转动轴依次穿过托板和炉体与托盘连接。本技术中所述托板、上升降电机和下升降电机都固定在固定板上。本技术克服了晶体熔体老化导致生长失败,生长成功率低的问题,同时设置了掺杂盘使得掺杂方便均勻。同时本技术结构简单、操作方便,适合广泛使用。附图说明图1、本技术结构示意图图中1-炉体,2-保温层,3-托盘,4-坩埚,5-掺杂盘,6-导流管,7_上旋转电机,8-上升降电机,9-固定板,10-下升降电机,11-下旋转电机,12-托板。具体实施方式以下结合附图对本技术的技术方案做进一步描述,如图1所示,单晶炉,包括炉体1、坩埚4、上旋转电机7、下旋转电机11、上升降电机8、固定板9和下升降电机10,所述炉体1固定在固定板9上,炉体1内设有坩埚4和保温层2,坩埚4固定在托盘3上且坩埚4内设有掺杂盘5,该掺杂盘5两端连接导流管6,导流管6另一端与保温层连接;所述炉体1上方设有上旋转电机7和上升降电机8,炉体1下方设有下旋转电机11和下升降电机10,所述下升降电机10与炉体1之间还设有托板12。所述下旋转电机11的转动轴依次穿过托板12和炉体1与托盘3连接。 所述托板12、上升降电机8和下升降电机10都固定在固定板9上。权利要求1.一种单晶炉,包括炉体(1)、坩埚(4)、上旋转电机(7)、下旋转电机(11)、上升降电机 (8)、固定板(9)和下升降电机(10),其特征在于所述炉体(1)固定在固定板(9)上,炉体 (1)内设有坩埚(4 )和保温层(2 ),坩埚(4 )固定在托盘(3 )上且坩埚(4 )内设有掺杂盘(5 ), 该掺杂盘(5)两端连接导流管(6),导流管(6)另一端与保温层连接;所述炉体(1)上方设有上旋转电机(7)和上升降电机(8),炉体(1)下方设有下旋转电机(11)和下升降电机(10), 所述下升降电机(10)与炉体(1)之间还设有托板(12)。2.根据权利要求1所述的单晶炉,其特征在于所述下旋转电机(11)的转动轴依次穿过托板(12)和炉体(1)与托盘(3)连接。3.根据权利要求1所述的单晶炉,其特征在于所述托板(12)、上升降电机(8)和下升降电机(10)都固定在固定板(9)上。专利摘要一种单晶炉,包括炉体、坩埚、上旋转电机、下旋转电机、上升降电机、固定板和下升降电机,所述炉体固定在固定板上,炉体内设有坩埚和保温层,坩埚固定在托盘上且坩埚内设有掺杂盘,该掺杂盘两端连接导流管,导流管另一端与保温层连接;所述炉体上方设有上旋转电机和上升降电机,炉体下方设有下旋转电机和下升降电机,所述下升降电机与炉体之间还设有托板。本技术克服了晶体熔体老化导致生长失败,生长成功率低的问题,同时设置了掺杂盘使得掺杂方便均匀。同时本技术结构简单、操作方便,适合广泛使用。文档编号C30B35/00GK201933204SQ20112001612公开日2011年8月17日 申请日期2011年1月19日 优先权日2011年1月19日专利技术者周雅清 申请人:乐山凯亚达光电科技有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶炉,包括炉体(1)、坩埚(4)、上旋转电机(7)、下旋转电机(11)、上升降电机(8)、固定板(9)和下升降电机(10),其特征在于:所述炉体(1)固定在固定板(9)上,炉体(1)内设有坩埚(4)和保温层(2),坩埚(4)固定在托盘(3)上且坩埚(4)内设有掺杂盘(5),该掺杂盘(5)两端连接导流管(6),导流管(6)另一端与保温层连接;所述炉体(1)上方设有上旋转电机(7)和上升降电机(8),炉体(1)下方设有下旋转电机(11)和下升降电机(10),所述下升降电机(10)与炉体(1)之间还设有托板(12)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:周雅清
申请(专利权)人:乐山凯亚达光电科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:51

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