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一种单晶炉,包括炉体、坩埚、上旋转电机、下旋转电机、上升降电机、固定板和下升降电机,所述炉体固定在固定板上,炉体内设有坩埚和保温层,坩埚固定在托盘上且坩埚内设有掺杂盘,该掺杂盘两端连接导流管,导流管另一端与保温层连接;所述炉体上方设有上旋转...该专利属于乐山凯亚达光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过乐山凯亚达光电科技有限公司授权不得商用。
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一种单晶炉,包括炉体、坩埚、上旋转电机、下旋转电机、上升降电机、固定板和下升降电机,所述炉体固定在固定板上,炉体内设有坩埚和保温层,坩埚固定在托盘上且坩埚内设有掺杂盘,该掺杂盘两端连接导流管,导流管另一端与保温层连接;所述炉体上方设有上旋转...