液滴喷出装置制造方法及图纸

技术编号:6002023 阅读:181 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种液滴喷出装置,具备:将沿长边方向配置了多个描画区域的卷状的工件(W)吸附定位的吸附台(31)、将工件(W)间歇地拉出并以使工件(W)弯曲的状态导入吸附台(31)的拉出机构(3)、具有功能液滴喷头(42)并通过在使功能液滴喷头(42)相对移动的同时对所吸附定位的工件(W)以描画区域单位进行描画的描画机构(12)、将描画完的工件(W)以使之弯曲的状态卷绕的卷绕机构(5)、将接受来自功能液滴喷头(42)的喷出的刷洗箱(111)按照收容于工件(W)的弯曲部分的至少一方的方式配设的刷洗组件(101)。由此可在对卷状的工件进行描画动作之前不久进行刷洗动作并可对实际描画区域稳定地进行描画。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及使用功能液滴喷头对长尺寸的工件进行描画的液滴喷出装置及其所 适用的工件以及电光学装置的制造方法、电光学装置及电子设备。
技术介绍
液滴喷出装置具备使将单张的基板(工件)定位了的吸附台(定位台)沿X轴方 向移动的X轴台、使搭载了功能液滴喷头的喷头组件沿Y轴方向移动的Y轴台,通过在使喷 头组件及基板相对移动的同时,对功能液滴喷头进行喷出驱动,就会在已经定位了的基板 上描画给定的描画图案。另外,在液滴喷出装置上,设有接受来自功能液滴喷头(的全部喷出喷嘴)的抛打 喷出的一对刷洗箱(brushing box)。一对刷洗箱被自由移动地支撑于X轴台上,并且被按 照在X轴方向夹持吸附台的方式配设。所以,当驱动X轴台时,按照刷洗箱、定位台(工件) 的顺序,喷头组件面向它们,在刷洗动作之后连续地进行描画动作。像这样,通过在描画动 作之前,进行刷洗(brushing)动作,就可以使功能液滴喷头的功能液滴喷出状态稳定,能 够对工件进行精度优良的描画处理。特开2003466673号公报但是,为了提高对工件的描画效率,考虑使用如下的盘式录音带方式的液滴喷出 装置,即,将在长边方向设置了多个描画出描画图案的实际描画区域的卷状的工件导入液 滴喷出装置,在将工件拉出的同时,以实际描画区域单位进行描画处理,并且将处理完的工 件依次卷绕起来。但是,此时,由于工件被连续地送来,因此无法像以往的液滴喷出装置那 样,在作为工件的输送方向的X轴方向配设刷洗箱,无法在对实际描画区域的描画动作前 进行刷洗动作。
技术实现思路
所以,本专利技术的目的在于,提供可以在对设于卷状的工件上的实际描画区域进行 描画动作之前不久,进行刷洗动作,从而可以对实际描画区域稳定地进行描画的盘式录音 带方式的液滴喷出装置及其所适用的工件以及电光学装置的制造方法、电光学装置及电子 设备。本专利技术是对沿长边方向配置了多个描画区域的工件进行描画的液滴喷出装置,其 特征是,具备配设于描画空间中并将工件吸附定位的吸附台、将工件间歇地拉出并以使工 件弯曲的状态导入吸附台的拉出机构、具有功能液滴喷头并通过在使功能液滴喷头相对于 描画空间相对移动的同时对功能液滴喷头进行喷出驱动而对所吸附定位的所述工件进行 描画的描画机构、将描画完的工件从吸附台上以弯曲的状态接受的工件收容机构、将接受来自功能液滴喷头的喷出的刷洗箱按照收容于工件的弯曲部分的至少一方的方式配设的 刷洗组件。根据该构成,刷洗箱被配设于拉出机构和吸附台之间的工件的弯曲部分及吸附台 和工件收容机构之间的工件的弯曲部分的至少一方。所以,在描画处理时,通过使功能液滴 喷头相对于描画空间相对移动,就可以使功能液滴喷头面向刷洗箱(brushing box),进行 刷洗动作。此时,由于吸附台和刷洗箱相邻近,因此功能液滴喷头就能够在对吸附台上的工 件(描画区域)进行描画动作前进行刷洗(brushing)动作。所以,在描画动作中,就可以 从功能液滴喷头中稳定地喷出功能液,能够对描画区域精度优良地进行描画。此时,最好在工件上,与各描画区域对应,设有用于对各描画区域进行位置修正的 对准标记,还具备拍摄对准标记而进行图像识别的图像识别机构、将吸附台可以转动地支 撑并基于利用图像识别机构实施的图像识别而对描画区域相对于功能液滴喷头的水平面 内的位置进行修正的θ台。根据该构成,由于设有与各描画区域对应了的对准标记,因此就可以基于该图像 识别对描画区域进行θ修正(位置修正),从而能够对工件进行精度优良的描画。此时,刷洗箱最好被支撑于θ台上。根据该构成,在对吸附台进行θ修正时,刷洗箱也与吸附台一起进行θ旋转。这 样,就可以使刷洗箱与进行了位置修正的实际描画区域对应地恰当地面对。此时,刷洗箱最好被与弯曲部分的吸附台侧的倾斜对应地形成。根据该构成,就可以将刷洗箱配置在与吸附台尽量接近的位置上,而不使刷洗箱 的底部与工件干扰。另外,即使当弯曲比较小时,也能够在弯曲部分配设刷洗箱。此时,工件收容机构最好卷绕工件。根据该构成,由于描画处理后的工件被卷绕成卷状,因此就可以使描画处理后的 工件的处置更为容易。本专利技术的工件的特征在于,利用所述的任意一个液滴喷出装置描画。根据该构成,由于利用所述的任意一个液滴喷出装置描画,因此就可以对工件进 行精度良好的描画。此时,工件优选安装了电子部件的柔性基板。根据该构成,通过将卷状的工件导入液滴喷出装置而进行描画处理,就可以有效 地制造柔性基板。本专利技术的电光学装置的制造方法的特征在于,使用所述说明中记载的液滴喷出装 置,在工件上形成由功能液滴形成的成膜部。另外,本专利技术的电光学装置的特征在于,使用 所述说明中记载的液滴喷出装置,在工件上形成了由功能液滴形成的成膜部。根据这些构成,由于使用所述的液滴喷出装置,因此就可以向实际描画区域稳定 地喷出功能液。所以,就可以精度优良地形成成膜部,有效地制造高精度的电光学装置。而 且,作为电光学装置(设备),可以考虑液晶显示装置、有机EUElectro-Luminescence) 装置、电子发射装置、PDP(Plasma Display Panel)装置及电泳显示装置等。而且,电子 发射装置是包括所谓的 FED (Field Emission Display)装置或 SED (Surface-Conduction Electron-Emitter Display)装置的概念。另外,作为电光学装置,可以考虑包含金属配线 形成、透镜形成、光刻胶形成及光扩散体形成等的装置。本专利技术的电子设备的特征在于,搭载了利用所述说明中所记载的电光学装置的制 造方法制造的电光学装置或所述说明中所记载的电光学装置。此时,作为电子设备,除了所谓的搭载了平板显示器的携带电话、个人计算机以 外,各种电器产品都对其适用。附图说明图1是本专利技术的实施方式的液滴喷出装置的说明图,(a)是液滴喷出装置的俯视 图,(b)是工件的放大俯视图。图2是本专利技术的实施方式的液滴喷出装置的说明图,(a)是液滴喷出装置的侧视 图,(b)是工件的定位台周围的放大侧视图。图3是喷头平板周围的俯视图。图4是功能液滴喷头的外观立体图。图5是对于液滴喷出装置的主控制系统进行说明的方框图。图6是说明滤色片制造工序的流程图。图7(a) (e)是以制造工序顺序表示的滤色片的示意性剖面图。图8是表示使用了适用本专利技术的滤色片的液晶装置的概略构成的要部剖面图。图9是表示使用了适用本专利技术的滤色片的第2例的液晶装置的概略构成的要部剖 面图。图10是表示使用了适用本专利技术的滤色片的第3例的液晶装置的概略构成的要部 剖面图。图11是作为有机EL装置的显示装置的要部剖面图。图12是说明作为有机EL装置的显示装置的制造工序的流程图。图13是说明无机物提堰层的形成的工序图。图14是说明有机物提堰层的形成的工序图。图15是说明形成空穴注入/输送层的过程的工序图。图16是说明形成了空穴注入/输送层的状态的工序图。图17是说明形成蓝色的发光层的过程的工序图。图18是说明形成了蓝色的发光层的状态的工序图。图19是说明形成了各色的发光层的状态的工序图。图20是说明阴极的形成的工序图。图21是作为等离子体型显示装置(PDP装置)的显示装置的要部分解立体图。图22是作为电子发射装置(FED装置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种液滴喷出装置,其特征在于,包括沿输送路径输送工件的输送装置和向所述工件喷出液滴的喷头组件,所述喷头组件沿所述工件的输送方向以及与所述输送方向正交的方向移动。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:宫阪洋一
申请(专利权)人:精工爱普生株式会社
类型:发明
国别省市:JP

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