【技术实现步骤摘要】
本技术涉及多晶硅氢还原炉结构,主要涉及多晶硅氢还原炉 硅芯棒与石墨夹头的连接装置。技术背景在多晶硅生产中,多晶硅氢还原炉是整个生产中极其重要的设备 之一,氢还原炉中的硅芯与石墨夹头接触不良有可能造成打压和生长 过程中的"倒炉"事故。现有技术中,大多是石墨夹头和硅芯直接接 触,由于硅芯在拉制和打磨过程中,现有技术无法达到所需要的精度。 造成硅芯和石墨夹头接触不良,硅芯启动后会出现很多"亮点"(即 由于接触不好造成局部电阻过大,相同电流流过的时候此处发热量更 大,温度更高,看起来比其它部位亮)。亮点温度一旦控制不好,硅 芯就会熔断,进而造成倒炉。另一方面,为了使石墨夹头夹瓣与硅芯 更好的接触,工人往往采用拧紧锁紧螺母的方法。这样就造成硅芯下 端被夹得过"死",由于电器控制系统自身的缺陷,电压调整无法即 时跟进硅芯电阻变化,硅芯在启动的瞬间就会出现一个很大的电流变 化,硅芯之间就会出现一个较大的磁感应力。硅芯上端为悬空状态, 而下端被夹头固定,磁感应力就被转移到硅芯根部与石墨夹头相连的 地方。如果硅芯夹的太"死",磁感应力就会将硅芯齐根折断,进而 造成倒炉事故。
技术实现思路
本技术的目的在于克服上述技术缺陷,提供一种多晶硅氢还 原炉硅芯棒与石墨夹头的连接装置。本技术可有效解决硅芯棒和 石墨夹头接触不良和接触和大电流变化下磁感应力将硅芯齐根折断 的问题,大大降低了倒炉率。为实现上述专利技术目的,本技术采用的技术方案是 多晶硅氢还原炉硅芯与石墨夹头的连接装置,包括设置在炉盘上 的电极,与电极一一对应安装的硅芯棒,所述电极与硅芯棒之间通过 石墨夹头固定连接,其特 ...
【技术保护点】
多晶硅氢还原炉硅芯与石墨夹头的连接装置,包括设置在炉盘(6)上的电极(7),与电极(7)一一对应安装的硅芯棒(3),所述电极(7)与硅芯棒(3)之间通过石墨夹头固定连接,其特征在于:在所述石墨夹头的夹瓣(13)和硅芯棒(3)之间设有柔性石墨垫(12),所述柔性石墨垫(12)设置在石墨夹头的夹瓣(13)顶部与硅芯棒(7)之间,所述柔性石墨垫(12)为至少一圈。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:戴自忠,张强,
申请(专利权)人:四川永祥多晶硅有限公司,
类型:实用新型
国别省市:51[中国|四川]
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