【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种新型等离子体微束流发生器,包括一个电源,一个供气源,等离子体微束流发生器主体,其特征在于:等离子体微束流发生器主体包括一个或多个绝缘介质管,在该绝缘介质管内外分别设有电极,该电极与一个射频或一个高频电源连接,该等离子体微束流外设有一个壳体,该壳体的一侧设有一个或多个喷口,另外侧设有进气连接口、气体流量控制阀开关,供气源中的气体在流经绝缘介质管内外电极之间的间隙时,被击穿电离形成等离子体向壳体外喷出。
【技术特征摘要】
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