加湿型过滤器制造技术

本实用新型专利技术提供了一种用于气体侦测器的加湿型过滤器，包括：壳体；第一进气口，设置于上述壳体一侧，用于将气体导入上述过滤器；第二进气口，设置于上述壳体一侧，用于将湿气入上述过滤器；以及气体导出口，设置于上述壳体另一侧，用于将上述混合的气体和湿气导出上述过滤器。利用本实用新型专利技术所提供的加湿型过滤器进行气体侦测时，可使待测气体的湿度达到气体侦测器侦测的要求，进而能提高气体侦测器的灵敏度，并使气体侦测器能在干燥的环境中进行工作，保证了人员财产的安全。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术关于一种过滤器，特别是关于一种用于气体侦测的加湿型过滤器。
技术介绍
随着科技的进步和普及，半导体器件在生活的各个方面得到了广泛的应用。 半导体厂在制造半导体器件的过程中对特种气体的使用占有很重要角色，由于 气体本身的物理和化学性质，决定了其可能具有很高的危险性，所以在半导体 厂对气体安全有很高的要求，根据气体种类将气体室分为易燃室、毒性室、腐 蚀室、氧化室、惰性室等，如果特气泄露，后果将是非常严重的，大量的腐蚀 气体，易燃甚至毒性气体泄露到环境中造成人员伤亡，所以每个半导体厂都会有一个气体安全侦测系统(Gas Detector System )。气体安全侦测系统中气体侦测器一般全部装在气体室内，由于采用分散供 气方式，每个气体室内都有十几或几十个气瓶拒，每个设备上都要设一个侦测 点。气体室的液态气体对供应压力和温度有很严格的要求， 一般冬天室内需要 空调或暖气加热，这就造成室内湿度降低，并且气体室内设备上加装排风也会 造成室内湿度降低，而气体侦测器对湿度有一定要求，而且很多气体的检测都 是采用电解液的气体侦测器，湿度的降低使电解液消耗得特别快，所以如果环 境湿度达不到一定要求，就会导致气体侦测器的侦测灵敏度下降，使用寿命减 少等。例如三氟化氮(NF3)、氟甲烷(CH3F)、六氟化四碳(C4F6)、 二氟曱烷 (CH2F2)这些气体必须通过高热分解，才能侦测出氟(F2)分子进行判断， 当室内湿度降低时，这几种气体通过高温分解后根本达不到气体侦测器侦测的 要求，而直接退出监测状态，在此期间如有人员在气体室内工作或进入气体室 是非常危险的，可能对人员生命健康造成危害。并且据统计，在湿度10%左右的情况下，需要高热分解的气体侦测器的寿命会减少一半以上，电解液类型的 气体侦测器寿命将减少三分之一 。
技术实现思路
有鉴于此，本技术所要解决的技术问题是提供一种加湿型过滤器，以 改善现有技术中，在干燥环境下进行气体检测时，气体侦测器在干燥空气当中 使用寿命较短，灵敏度较低等问题。本技术提供一种用于气体侦测器的加湿型过滤器，包括壳体；第一 进气口，设置于上述壳体一侧，用于将气体导入上述过滤器；第二进气口，设 置于上述壳体一侧，用于将湿气入上述过滤器；以及气体导出口，设置于上述 壳体另一侧，用于将上述混合的气体和湿气导出上述过滤器。可选的，上述加湿型过滤器还包括一憎水膜，设置于上述壳体中，用于当 上述气体和湿气的混合气体透过上述憎水膜时，除去上述混合气体中多余的水分。本技术还提供一种气体安全侦测系统，该系统包括加湿型过滤器， 气瓶拒、加湿器和气体侦测器。所述的加湿型过滤器，包括壳体；第一进气 口，设置于上述壳体一侧；第二进气口，设置于上述壳体一侧；以及气体导出 口，设置于上述壳体另一侧；所述气瓶拒，包括排气管路，与上述第一进气口 连通；所述加湿器与上迷第二进气口连通；所述气体侦测器，包括气管入口， 与上述气体导出口连通。可选的，上述气体安全侦测系统中的上述加湿型过滤器还包括憎水膜，设 置于上述壳体中。利用本技术所提供的加湿型过滤器进行进行气体侦测，由于把空气保 持到一定湿度，增加被测气体的湿度，减少了电解质的挥发，进而可以延长气 体侦测器的千燥空气当中4吏用寿命，并保证气体侦测器能在干燥环境中正常运 行，提高安全系数。附图说明图1所示为本技术一实施例所提供的加湿型过滤器的结构示意图； 图2所示为本技术一实施例所提供的加湿型过滤器中憎水膜的工作示意图3所示为本技术一实施例所提供的气体安全侦测系统示意图。具体实施方式为使本技术的目的、特征更明显易懂，给出较佳实施例并结合附图， 对本技术作进一步说明。请参见图1，图1所示为本技术一实施例所提供的加湿型过滤器的结构示意图，加湿型过滤器100,其结构包括一壳体110，在壳体110上设置有一第 一进气口 120，该第一进气口 120的作用是将待测气体121导入加湿型过滤器 100中；在壳体110上还设置有一第二进气口 130，该第二进气口 130的作用是 将湿气131,导入加湿型过滤器100中；在壳体110的底部设置有一气体导出口 140，当待测气体121和湿气131充分混合后可以通过气体导出口 140导出加湿 型过滤器100。在本技术的另一实施例中，请参见图1，在加湿型过滤器100中还设置 有一憎水膜150,其工作原理请参见图2，当待测气体与湿气的混合气体210， 其中湿气一般是水汽，充分混合后，由于温度的变换水汽可能会凝结成水滴， 如果直接流入气体侦测器，将会对气体侦测器的工作产生影响，所以通过憎水 膜150,把待测气体与湿气的混合气体210中多余的水分除去，以保证能正常的 对待测气体220进行侦测。可以看出，当进行气体检测时，待测气体通过本技术上述实施例所提 供的加湿型过滤器时，可以与湿气进行充分混合，使待测气体的湿度达到气体 侦测器侦测的要求，进而能提高气体侦测器的灵敏度，并使气体侦测器能在干 燥的环境中进行工作，保证了人员财产的安全。请参见图3,图3所示为本技术另一实施例所提供的气体安全侦测系统 示意图，该气体安全侦测系统300,包括一加湿型过滤器310,其结构包括一壳 体311,在壳体311上设置有一第一进气口 312,在壳体311上还设置有一第二 进气口 313,在壳体311的底部设置有一气体导出口 314; —气瓶拒320,包括 一排气管路321,与上述第一进气口 312连通； 一加湿器330与上述第二进气口 313连通；以及一气体侦测器340，与上述气体导出口 314连通。当气瓶拒320的管路321中的气体通过第一进气口 312进入加湿型过滤器310，同时，加湿器330产生的湿气通过第二进气口 313进入加湿型过滤器310， 气体和湿气的混合气体通过气体导出口 314进入气体侦测器340进行检测。在本技术的另一实施例中，请参见图3，在气体安全侦测系统300中， 加湿型过滤器310中还设置有一憎水膜315,当待测气体与湿气，其中湿气一般 是水汽，充分混合后，由于温度的变换水汽可能会凝结成水滴，如果直接流入 气体侦测器，将会对气体侦测器的工作产生影响，所以通过憎水膜315，扭游测 气体与湿气的混合气体中多余的水分除去，以保证能正常的对待测气体进行侦 测 当使用本技术上述实施例所提供的气体安全侦测系统进行气体侦测 时，待测气体通过加湿型过滤器时，可以与加湿器产生的湿气进行充分混合， 而使待测气体的湿度达到气体侦测器侦测的要求，进而能提高气体侦测器的灵 敏度，并使气体侦测器能在干燥的环境中进行工作，保证了人员财产的安全。此外，加湿器330还可保持环境的湿度的均衡，以利于气体侦测器340使 用寿命的延长。虽然本技术已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本技术， 任何熟习此技术者，在不脱离本技术的精神和范围内，当可作些许的更动 与润饰，因此本技术的保护范围当视权利要求书所界定者为准。权利要求1.一种加湿型过滤器，其特征在于，包括壳体；第一进气口，设置于上述壳体一侧；第二进气口，设置于上述壳体一侧；以及气体导出口，设置于上述壳体另一侧。2. 根据权利要求1所述的加湿型过滤器本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种加湿型过滤器，其特征在于，包括：　壳体；　第一进气口，设置于上述壳体一侧；　第二进气口，设置于上述壳体一侧；以及　气体导出口，设置于上述壳体另一侧。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张旭，常宜龙，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]