用于湿处理板状物品的装置和方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种用于板状物品湿处理的装置，该装置包括：用于夹持含有面朝上表面的单一板状物品的夹头，该面朝上表面用于在用液体处理时接受流出板状物品的液体，其中，夹头向外邻接周边环状凸缘，其中，夹头具有大于将要处理的板状物品最大直径的外径；和具有面朝上环形表面以接受流出夹头的环状凸缘的液体的可旋转部件，该可旋转部件相对于夹头可旋转，环形表面相对于周边环状凸缘共轴地设置，该环形表面的内径小于夹头的外径，并且凸缘与面朝上的环形表面之间的距离ｄ在０．１毫米至５毫米的范围内。本发明专利技术还公开了一种相关的方法。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于湿处理板状物品的装置，该装置包括用于夹 持单一板状物品的夹头，该板状物品包括面朝上的表面，以在用液体 处理时接受从板状物品流掉的液体。
技术介绍
这种用于湿处理板状物品的装置通常取代多个板状物品被同时处 理的所谓湿式工作台。这种板状物品可以是盘形物品，比如半导体晶片或光盘以及象平 板显示器之类的多角形物品。用于单 一板状物品湿处理的装置采用板状物品的旋转以使已被配 送到该板状物品上的液体可以通过使液体抛出而从该板状物品上有效 地消除，而后该液体由环形液体收集器收集。因此，处理液体以最低 速度流过该板状物品。然而，在一些用于湿式工作台的处理中，有时 需要应将液体保持在板状物品上或使其緩慢地越过板状物品的表面的 湿处理。对于这种处理，使用单一处理器，使液体抛出进入环形液体 收集器似乎是不可能的。用于湿处理上述单一板状物品的装置所产生的另 一个问题是，被 配送到板状物品上的液体需要高的体积流率，以使板状物品在处理期 间完全保持湿润。 一方面要求板状物品保持湿润，另一方面又要求液 体抛出，这两者似乎相互矛盾。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的是提供一种装置和处理技术，这种装置和处 理技术使有可能在单一板状物品湿式处理器中使用緩慢流动的液体。 本专利技术通过提供一种用于湿处理板状物品的装置来达到本专利技术的目的，该装置包括-用于夹持单一板状物品的夹头，该夹头包括用于接受在用液体 处理时从单一板状物品流掉的液体的面朝上表面，其中，夹头向外邻 接周边环状凸缘，其中，夹头具有大于将要处理的板状物品最大直径 的夕卜径,和-可旋转部件，其具有用于接受自夹头的环状凸缘流出的液体面 朝上的环形表面，该可旋转部件相对于夹头可旋转，该环形表面相对 于周边环状凸缘共轴地设置，环形表面的内径小于夹头的外径，并且凸缘与面朝上的环形表面之间的距离d在0.1毫米至5毫米的范围内。 这种用于夹持板状物品的夹头和周围可旋转的环形表面的结构可 以带来这种优点，即不论夹头是旋转还是不旋转或夹头旋转多快，液 体都会流到旋转环形表面上并被径向地甩掉。超过一定旋转速度，液 体将不接触旋转环。因此液体可以被收集在沿周边设置的液体收集器 中。如果使用具有两个或多个在彼此下面设置的收集层次的多级液体 收集器，不应收集在同一收集器中的液体(不论是由于相容性原因还 是为了分别重复使用该液体)可以在其被径向甩出可旋转部件的旋转 环形表面时被单独地收集。为了从一个收集层次转换至另一个收集层 次，收集器与环形表面彼此相对地竖直移动。在优选的实施例中夹头是可旋转的，从而带来板状物品有选择地 在旋转时或在静止状态能被处理的优点。举例来说，板状物品可以在 0转/分钟下通过光抗蚀剥离液体(例如有机溶剂的混合物)来处理， 此后在10到200转/分钟下沖洗并接着在3000转/分钟下旋转干燥。 在所有这些以不同的旋转速度处理期间，旋转环形表面可以以例如 200转/分钟的同一旋转速度旋转。低于100转/分钟时，可以预计，液 体自周边环状凸缘会流到旋转环形表面上，但是这不仅取决于旋转速 度，而且还取决于其它参数，比如该液体的表面张力和黏度及液体的 体积流率。如果该装置还包括用于将液体配送到未面对夹头的表面(板状物 品面朝上表面)的液体配送机构，液体则能保持在板状物品面朝上的 表面上，并且能自由地流过仅靠重力支承的表面，而没有任何液体的附着力支承在板状物品的表面上。当距离d在0.1毫米至2毫米的范围时，间隙足够小，致使没有 液体流入间隙内。优选地，距离d不超过0,5毫米。有利地，形成周边环状凸缘，使得凸缘的外部边缘面朝下，液体 流向仅靠重力驱动的夹头边缘。这样使夹头能以0转/分钟的旋转速度 操作处理，并同时加速来自夹头的液体进入液体收集器。优选地，夹 头的面朝上表面具有斜形的边缘区域，其中，斜形边缘区域具有距边 缘0.5毫米至10毫米的尺寸。在另一实施例中，可旋转部件是转筒的一部分或者安装到转筒上， 同时夹头被设置在该转筒里，由此在夹头与转筒之间形成间隙，其中， 该间隙具有0.05毫米到20毫米之间范围的距离。该实施例带来的优 点是，如果液体流入可旋转部件与夹头之间的间隙，即使夹头不旋转 此液体也将被离心力驱出。当转筒具有位于夹头下方的开口时，这种 效果会进一步得到支持，其中，该开口与用于将气体转移到转筒与夹 头之间间隙内的气体源连通。所述气体源是周围空气。在转筒的替代方案中，可旋转部件可以是旋转直接安装在夹头并 由安装在夹头中的马达驱动的环。这种旋转环也可以由增压气体气力 驱动。在又一个实施例中，夹头还包括用于以至少部分气体清洗面向夹 头的板状物品表面的气体传送机构，其中，夹头的周边侧面包括第一 气体引导装置，其将大部分清洗气体定路线逸送离开板状物品的边缘 区域。该第 一气体引导装置避免了使已被导入板状物品与夹头之间间 隙内的气体与流过板状物品的边缘至用于接受液体的面朝上夹头表面 上的液体碰撞。这样消除了可能从板状物品的边缘与面朝上夹头表面 之间间隙流出的气体所产生的气泡或飞賊。有利地，第一气体引导装置具有环状喷嘴的形式，该环状喷嘴向 外邻接面朝内的环状边缘，该环状边缘具有小于将要处理的板状物品 的直径。环状边缘的直径优选地比板状物品的直径至少小0.5毫米。优选地，该装置在旋转环形表面下方装配有第二气体引导装置，以进一步径向向外引导来自第一气体引导装置的气体。该第二气体引 导装置避免了使来自第一气体引导装置和/或来自夹头与可旋转部件 之间间隙的气体与流过夹头的周边环状凸缘到可旋转部件的环形表面 上的液体碰撞。这样消除了可能从周边环状凸缘与环形表面之间间隙 流出的气体所产生的气泡或飞溅。本专利技术的另一方面是一种用于湿处理板状物品的方法，该方法包括-将板状物品置于水平夹持板状物品的夹头上，该夹头具有在板 状物品的边缘至少下方的面朝上表面，-将液体配送到板状物品的面朝上表面上，- 使液体流向板状物品的边缘，醫使液体流出板状物品至夹头面朝上表面上，该表面向外邻接周 边凸缘，其中，夹头具有大于将要处理的板状物品最大直径的外径，- 使液体越过夹头的周边凸缘流出面朝上表面到面朝上旋转环 形表面上，由此液体加速并从旋转环形表面抛出，其中，旋转表面旋转的比板状物品快，并且其中，旋转环的内径 比夹头的外径小，而且凸缘与面朝上环形表面之间的距离d在O.l毫 米至5毫米的范围内。在该方法的实施例中，夹头以0转/分钟至100转/分钟(优选为0 转/分钟至50转/分钟)范围的旋转速度旋转。优选地，旋转环形表面以高于50转/分钟的旋转速度旋转。有利地，清洗气体被导入板状物品与夹头之间的间隙中，并且该 气体流向板状物品的边缘。如果80 %体积的清洗气体被定路线运送离开板状物品的边缘区 域，则处理结果会进一步改善。如果超过80 %体积已被定路线运送 离开板状物品的边缘区域的清洗气体在旋转环形表面下方被向外引 导，则结果可以更加改善。本专利技术的另外细节与优点通过优选实施例的详细描述将变得显而 易见。附图说明图1示出本专利技术的优选实施例的概略横剖面图。图2示出图1中F2细节的概略横剖面图。图3示出图2中的细节，然而表示具有气体导向环(例如毛细环) 的实施例。图4示出本专利技术的优选实施例在多层次收集器内的概本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于湿处理板状物品的装置，其包括：　用于夹持单一板状物品的夹头，该夹头包括用于接受正在被用液体处理时从板状物品流掉的液体的面朝上的表面，其中，夹头向外由周边环状凸缘邻接，其中，夹头具有大于将要处理的板状物品最大直径的外径，和一可旋转部件，其具有用于接受自夹头的周边环状凸缘流掉的液体的面朝上的环形表面，该可旋转部件相对于夹头可旋转，该环形表面相对于周边环状凸缘共轴地设置，环形表面的内径小于夹头的外径，并且凸缘与面朝上的环形表面之间的距离ｄ在０．１毫米至５毫米的范围内。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：M布鲁格，A史华弗特那，
申请(专利权)人：兰姆研究股份公司，
类型：发明
国别省市：AT[奥地利]