空气浮抬运送装置和空气运送方法制造方法及图纸

一种空气浮抬运送装置及空气运送方法，把形成平面基板（１０）的运送路的空气浮抬单元（１）朝向平面基板运送方向地配列成线状，把该空气浮抬单元（１）的列并列配列多列。空气浮抬单元（１）包括有：形成平面基板（１０）的运送路的背面板（１３）、位于与背面板（１３）的运送路方向平行的两侧面且具有向背面板（１３）的中央部上方喷出空气的倾斜喷嘴（２１）的一对空气供给管（１１、１２）。因此，能够按照液晶基板等平面基板的大小和重量灵活地构成，且能够在稳定的状态下运送平面基板。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种空气浮抬运送装置，由形成平面基板运送路的多个空气浮抬单元构成，从所述空气浮抬单元喷出空气来浮抬所述平面基板进行运送，其特征在于，　把所述空气浮抬单元朝向所述平面基板运送方向配列成线状的空气浮抬单元列并列配置多列，　且所述空气 浮抬单元具备：从与平面基板运送方向正交的两侧方向向所述平面基板的下面喷出空气的机构。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：北泽保良，须田佳雅，
申请(专利权)人：翔风技术有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]