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一种空气浮抬运送装置及空气运送方法，把形成平面基板（１０）的运送路的空气浮抬单元（１）朝向平面基板运送方向地配列成线状，把该空气浮抬单元（１）的列并列配列多列。空气浮抬单元（１）包括有：形成平面基板（１０）的运送路的背面板（１３）、位于与背...
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