用于在X-Y高速钻孔系统中采用谐振扫描仪的系统与方法技术方案

公开了一种用于在目标位置提供相对小速度的激光束、同时至少一个扫描仪以相对大速度扫描的激光处理系统。该系统包括激光源、第一扫描单元、扩束器、第二扫描单元和聚焦光学器件。激光源用于提供具有至少一个有射束尺寸的射束的脉冲激光输出。第一扫描单元用于在目标位置沿第一轴的第一方向扫描激光输出。扩束器用于接收激光输出并用于改变激光输出的射束直径并提供改变后的激光输出。第二扫描单元用于在目标位置沿第一轴的第二方向扫描来自扩束器的改变后的激光输出。该第二方向基本上与沿第一轴的第一方向相反，使得在目标位置沿第一轴的改变后的激光输出的净速度可以在激光脉冲期间有效地成为零。聚焦光学器件用于将改变后的激光输出朝目标位置聚焦。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术总体上涉及用于在印制电路板中提供钻孔的激光处理系 统，尤其涉及在印制电路板处理中提供改进的速度与精度的这种激光 处理系统。孔可以用于提供通过电路板的路径(或通路)。
技术介绍
已知激光钻孔常常是利用以诸如检流计光学扫描仪的光学扫描 仪定位的激光束进行的。检流计光学扫描仪通常包括耦接到有限旋转 电动机的扫描镜。这种扫描仪通常称为"检流计"或者"检流计扫描 仪，，，而且这种扫描仪的例子在转让给本专利技术受让人的美国专利No. 6，424，632中公开。为了钻圆孔，对于激光脉冲的持续时间，激光光斑关于期望的孔 位置相对稳定是很重要的。对于每个孔，旋转有限旋转电动机以便将 镜子定位到正确的坐标，而且一旦有限旋转电动机停置(settle)好就 发射激光。通常，激光脉冲的持续时间比重新将镜子定位到有限旋转 电动机上所需的时间短得多。为此，钻多个孔的速度受定位系统响应 速率的限制，而不是受激光功率的限制。有限限制电动机的停置性能 通常受谐振频率的限制，而步进速率(步进并停置)受电动机效率的 限制。但是，增加电动机的带宽受到有限旋转电动机中所耗散功率(例 如，以热量的形式)与速率的五次幂本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光处理系统，用于在目标位置提供相对小速度的激光束，同时至少一个扫描仪以相对大速度进行扫描，所述系统包括：　激光源，用于提供脉冲激光输出，该激光输出具有至少一个有射束尺寸的射束；　第一扫描单元，用于在目标位置沿第一轴的第一方 向扫描所述激光输出；　扩束器，用于接收激光输出，并且用于改变激光输出的射束直径并提供改变后的激光输出；　第二扫描单元，用于在目标位置沿第一轴的第二方向扫描来自扩束器的改变后的激光输出，所述第二方向基本上与沿第一轴的所述第一方向相 反，使得在目标位置沿第一轴的改变后的激光输出的净速度可以在激光脉冲期间有效地减小到相对小的速度；...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：AI皮纳德，K佩尔苏，F斯图卡林，
申请(专利权)人：杰斯集团公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]