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用于在X-Y高速钻孔系统中采用谐振扫描仪的系统与方法技术方案
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下载用于在X-Y高速钻孔系统中采用谐振扫描仪的系统与方法的技术资料
文档序号:5458514
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公开了一种用于在目标位置提供相对小速度的激光束、同时至少一个扫描仪以相对大速度扫描的激光处理系统。该系统包括激光源、第一扫描单元、扩束器、第二扫描单元和聚焦光学器件。激光源用于提供具有至少一个有射束尺寸的射束的脉冲激光输出。第一扫描单元用于...
该专利属于杰斯集团公司所有,仅供学习研究参考,未经过杰斯集团公司授权不得商用。
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