位移传感器制造技术

一种位移传感器，包括初级线圈（２）、次级线圈（４ａ，４ｂ）以及可随被测物体的位移移动以引起次级线圈（４ａ，４ｂ）中产生的电压变化的可动磁芯（６）。次级线圈（４ａ，４ｂ）差动互连。根据次级线圈（４ａ，４ｂ）的差动合并输出电压，多相信号发生单元（１０）产生具有不同相位的二相组分信号。全波整流单元（１６，１８）整流多相组分信号，在合并器（２２）中合并整流过的多相组分信号，且合并器的输出结果提供给低通滤波器（２４）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种^ft感器，其包M圏及可动磁芯并提供才娥可动磁芯的^i^多而变化的输出信号，且更*^地，涉;SJt种^^多传感器的输出的整j;級 平滑。
技术介绍
专利文献i中公开了上述类型的已知的包M團及可动^i^的^^M感器 的例子。专利文献i //Hf了为了在整皿出电压之前抑制输出电压中的针状干 涉乐辦，^Ki^M感器的输出电压应用于^c形成电路或4^t滤波器。专利文献l: JP2005-521048
技术实现思路
技术问题当如上述的例子中一才ff^lH腿滤波器时，4诚滤波器的时间常数必须较 大以便于^f^中制干涉乐辦。然而，狄的时间常数引起4腿滤波器输出的 舰，并因此，^U狄的时间常数的4腿滤波器的专利文献i的技术，不能 用于需要f链响应的系统。^t^^多传感器的输出信号彰^， ^^H腿滤波 别吏其平滑。在这样的'1W下，如果为了提高整^ft度^^I具有较大的时间常 数的^it滤波器，为了同样的理由斷氐了响应。本专利技术的目的是提^#具有'^4响应的^##感器。解决问题的方案#1^^专利技术一方面的^##感器，包括线圈及才^t被测物体的位移而移动 的可动磁芯。线圈可仅为初g圈，或者可为初^圏和次^圈。^il样的 '^W下，向初城圏提供来自于周雜号源的，例如正弦信号的周^f言号。可 4^1多个次域圏或单个次贿圏。#^可动>#^的树，鄉传感器的输出 信号tt。响应于^f多传感器的输出信号，多相信号^A装置产生呈现不同相位的多个多相组刺言号。在用于^H目应的多相组分信号的多个整^^置中， 多相組^j言^^皮整流。M装置^f整^^置的整^it的输出。用上述的^f多传感器的iU，将输出信号转城多相組^f言号。例如，当 输出信号为正弦波信号时，产生多相正弦波。整流多相正弦》&且^f言号。 ，产生的^f的信号的脉动频率(ripple frequency)组分可具有较高的阶，且另 夕卜，务>动(ripple)本身可诊皮减小。因此，当向〗腿滤波^^f^f装置的输出 信号时，可^^低附腿滤波器或具有较高截止频率的^t滤波器，以使得可 ##小的^!滤波器的输出信号的^，产生'fel响应。多个次城圏可为第-^第二次m圈。第-^第二欠域圏差动连4^f吏 得M线圏输出信号之间的差崎线圏输出信号而转变。可选择地，第一多相 信号纽装置提供给第一次城圏，第二多相信号iLi装置提供给第^輔 圏，肚自于第一多相信号;^装置的多相组刺言号各自在第一影綠置中整 流，以絲自于第二多相信号^jt装置的多相组^f言号各自在第4^^置中 整流。分别来自于第一彰^^置的彰組的输出*^来自于第^^綠置的整 力tit的输出i^t动^f。多相信号发生装置可包括位移传感器的输出信号可直接通过其输出的路 径，及^f多传感器的输出信号应用于其上的一个或多个相移装置。例如，对于 两相系统，^^I一个相移装置。对于^目系统，^^)两个相移装置。换句i封兌， 所用的相移装置的数量为相的数量减一。相移装置以这样的方^目移，使得相 移装置的输出信号的整^it的输出波形的顶点位于^f多传感器的输出信号的整 ;纽的输出波形的顶点之间。整伊u^置可为半波整^^置。4^种'1W下，所用相移装置的数量为n (这 里2为等于或大于一的正 )。要由2个相移装置中的^-个所 的相位的 量是这样的，使^^F多传感器的输出信号的一个周期的l/仏+1)的相位差出踪 多相组^f言号之间。通itil种设置，可产生M多相组^^言号的半波整itit的 信号，而不用消除其它半波整M的组^f言号，Jli且^f言号可以小的脉动^f。在可替换的设置中，整^^置可为全波整g置。^it种十W下，所用的相移装置的数量为s (ilEn为等于或大于一的正做)。要由n个相移装置中 的^- 个所 的相位的量是这样的，使^^f沐感器的输出信号的一个周期的i/2fc + i)的相位差出现在多相组^f言号之间。通过这种设置，相移的量可更小，iL/斤述信号可以H^半波整流ft^下的更小的脉动M。 附图说明闺1图1为#^本专利技术的第一实施例的^##感器的框图。 闺2图2a到2e为出现在图1的^ft感器的不同部分的波形。 闺3偶3为才Nt本专利技术的第二实施例的^ft感器的框图。 闺司图4为##本专利技术的第三实施例的#传感器的框图。 闺5图5a到5d为出现在图4的^##感器的不同部分的波形。 闺6〗图6为才鹏本专利技术的第四实施例的^^多传感器的框图。胁实施方式如图1中所示的，4Mt本专利技术的第一实施例的位^ft感器包^^刀级线圏2 和多个(在示例性的例子中为两个)该，于与初级线團2互感的次级线圈4a 及4b。可动磁芯6设置于初级线圈2和次级线圏4a及4b之间。可动磁芯6被 设置成与(例如为如活塞的、诸如气压或液压的阀的流体阀的可动部件的)被 测物糾目关联的滑动。从周^f言号源，例如振荡器8，向初城圏2提做，J如正 弦信号的周^f言号。两个次城圏4a及4b以差动方iC^接。换句i封兌，它们 以这种方i(^接，使得两个次賤圏4a及4b的输出信号(例如，输出电压) 可以相反极'^itki且合。因此，当可动磁芯6位于中立位置(neutral position )时， 两个次级线圏的输出电4量^J^目等，并因此，次级线圈4a及4b的合并的 输出电压为零。,可动^t、移动，次M^圏4a及4b中的一个的输出电压增 加而另一个的输出电压减小，使得才鹏可动磁芯6的移动的方向，产生正的或 负的冶4f输出电压。#^输出电压应用于多相信号纽装置，例如多相信号U单元10。多 相信号^jl单元10具有^^圣12,次域圏4a及4b的^f^出电M过该路 ^^、才稀出，并具有用于使^ 出电/￡#相的相移装置，例如，90。相移电路 14。 90。相移电路14工作以使次城圏4a及4b的^f输出电压的相位提前或 舰卯°。因此，次城圏4a及4b的^f输出电压转^WL为卯度相位差 的两个电压。通ii^径12,将次级线圈4a及4b的合并电压应用于整^^置，例如，全波整流电路16。 ^UC^刀贿圏2的电压^f^^波整流电路16。全波整流电路16 全波整流与初贿圏2的电压同步的次城圏4a及4b的M电压。同才桃， 把卯。相移电路14的输出电压供絲波整流电路18。在供^波整流电路18 之前，以与90。相移电路14同样的方式，通过例如90。相移电路20的相移装置 将初輔圏2的电S^NKiJi提前iU^全波整流电路18全波整流与90°相 移电路20的输出电压同步的卯。相移电路14的输出电压。在>^腿滤波器24之前，来自于全波整流电路16和18的全波整皿的 电4例如加，^并器22的冶4f装置中加法合并。低通滤波器24的输出电压 ^RA, #^列来说，^或、M的阀的活塞的^^的量，并^N来说，用于反馈 控制。例如,假设次级线圏4a及4b的合并输出电压为如图2a中所示的正弦曲线。 通ii^4圣12， fe^f电压供^波整流电路16，辆里，^4皮全波整^W图2b 中所示的波形。次级线圏4a及4b的《^f输出电压如图2c中所示在90。相移电 路14中相移九十(卯)度。90。相移电路14的输出电>&4全波整流电路18中 全波整;线图2d中示出的波形。来自于全波整流电路本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种位移传感器，其包括线圈和可随着被测物体的位移而运动的可动磁芯，所述位移传感器的输出信号随着所述可动磁芯的运动而变化；　所述位移传感器进一步包括：　用于从所述输出信号形成具有不同相位的多个多相组分信号的多相信号发生装置；　 　用于整流各个相应的所述多相组分信号的多个整流装置；以及　用于合并所述整流装置的整流输出的合并装置。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2006-10-5 273808/20061、一种位移传感器，其包括线圈和可随着被测物体的位移而运动的可动磁芯，所述位移传感器的输出信号随着所述可动磁芯的运动而变化；所述位移传感器进一步包括用于从所述输出信号形成具有不同相位的多个多相组分信号的多相信号发生装置；用于整流各个相应的所述多相组分信号的多个整流装置；以及用于合并所述整流装置的整流输出的合并装置。2、 才^^5U'虔求i的^i^多传感器，其中，所述多相信号处装置包拾 ^4圣，所述输出信号通过其原微出；以及 被提供以所述输出信号的一个或多个相移装置； 所W目移装置以这样的方^目移，使得所...

【专利技术属性】
技术研发人员：中野泰志，赤瀬広至，金城大树，
申请(专利权)人：新光电机株式会社，纳博特斯克株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]