玻璃基板检查装置及玻璃基板检查方法制造方法及图纸

以简单的装置结构满足使玻璃基板移动并进行缺陷检查的要求，同时，不使玻璃基板的边上产生过度的应力集中，矫正玻璃基板的弯曲，提高缺陷的检测精度。一种玻璃基板检查装置（１），通过使纵姿态的玻璃基板（Ｇ）相对于缺陷检测机构（３）沿玻璃基板（Ｇ）的宽度方向进行相对移动，而使缺陷检测机构（３）对玻璃基板（Ｇ）进行扫描，来检查玻璃基板（Ｇ）是否含有缺陷，其中，具备把持玻璃基板（Ｇ）的上边的上部把持机构（４）和把持玻璃基板（Ｇ）的下边的下部把持机构（５），仅通过上部把持机构（４）和下部把持机构（５）所进行的把持来保持玻璃基板（Ｇ），并且使上部把持机构（４）与下部把持机构（５）背离，对玻璃基板（Ｇ）沿上下方向施加张力，在此状态下，使玻璃基板（Ｇ）朝向缺陷检测机构（３）沿宽度方向移动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及检查玻璃基板中是否含有缺陷的玻璃基板检查装置及玻璃基板检查 方法。
技术介绍
众所周知，将在熔融炉中熔融了的熔融玻璃成形为带状的玻璃带，在使该玻璃带 充分冷却后，切割成规定尺寸，由此来制作以液晶显示器、等离子显示器、电致发光显示器、 场致发射显示器等平板显示器(FPD)用的玻璃基板为首的各种玻璃板。在此，在玻璃带的 成形中，除浮法之外，通常利用溢流下拉法(熔融法)或狭缝下拉法等下拉法等。然后，通常将经过此种过程制作的玻璃基板(小玻璃基板包含进行了倒角的样品 玻璃基板)向检查工序传送，检查是否存在微小损伤或异物等缺陷。作为在此种检查工序中使用的装置，例如下述专利文献1中公开所示，在传送辊 上水平载置玻璃基板，通过传送辊使玻璃基板以水平姿态移动，同时，通过光源和CCD传感 器等的相机，对玻璃基板的缺陷进行检测。然而，此种结构的情况下，以近年来的大型且薄板的玻璃基板为检查对象时，在传 送辊之间，会产生玻璃基板由于自重而向下方弯曲较大的情况。在玻璃基板的检查时，通常 利用相机，若玻璃基板如此产生弯曲，则会产生相机的焦点位置偏离而无法正确地检测出 缺陷的问题。尤其是，在FPD用本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃基板检查装置，通过使纵姿态的玻璃基板相对于缺陷检测机构沿所述玻璃基板的宽度方向进行相对移动，而使所述缺陷检测机构对所述玻璃基板进行扫描，来检查所述玻璃基板是否含有缺陷，所述玻璃基板检查装置的特征在于，具备把持所述玻璃基板的上边的上部把持机构和把持所述玻璃基板的下边的下部把持机构，仅通过所述上部把持机构和所述下部把持机构所进行的把持来保持所述玻璃基板，并且使所述上部把持机构与所述下部把持机构背离，对所述玻璃基板沿上下方向施加张力，在此状态下，使所述玻璃基板朝向所述缺陷检测机构沿宽度方向移动。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2008-3-27 2008-084794一种玻璃基板检查装置，通过使纵姿态的玻璃基板相对于缺陷检测机构沿所述玻璃基板的宽度方向进行相对移动，而使所述缺陷检测机构对所述玻璃基板进行扫描，来检查所述玻璃基板是否含有缺陷，所述玻璃基板检查装置的特征在于，具备把持所述玻璃基板的上边的上部把持机构和把持所述玻璃基板的下边的下部把持机构，仅通过所述上部把持机构和所述下部把持机构所进行的把持来保持所述玻璃基板，并且使所述上部把持机构与所述下部把持机构背离，对所述玻璃基板沿上下方向施加张力，在此状态下，使所述玻璃基板朝向所述缺陷...

【专利技术属性】
技术研发人员：外间喜春，山本正善，安井忠德，
申请(专利权)人：日本电气硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]