温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

以简单的装置结构满足使玻璃基板移动并进行缺陷检查的要求，同时，不使玻璃基板的边上产生过度的应力集中，矫正玻璃基板的弯曲，提高缺陷的检测精度。一种玻璃基板检查装置（１），通过使纵姿态的玻璃基板（Ｇ）相对于缺陷检测机构（３）沿玻璃基板（Ｇ）的宽...
该专利属于日本电气硝子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日本电气硝子株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。