形成微型燃料电池的方法技术

提供了一种制作燃料电池的方法，该方法仅需要前侧对准技术来制作气体进入孔。该方法包括蚀刻基板（１２）的前侧以提供沟道（２４、２６），以及在基板的前侧上形成基座（５４、８８），其中该基座（５４、８８）包括限定与沟道（２４、２６）对准的燃料区域（６８、１０２）的阳极侧（５６、８９）。电解质（４６、９６）布置在阳极侧（５６、８９）和阴极侧（５８、９０）之间，以及燃料区域（６８、１０２）覆盖有绝缘体（６６、９８）。从后侧去除基板（１２）的一部分以暴露沟道（２４、２６）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术一般涉及燃料电池，更具体地涉及一种制作微型燃料电池并向该微型燃料电池提供气体进入的方法，该方法仅需要前侧对准和处理。
技术介绍
可再充电蓄电池目前是蜂窝式电话和各种其他便携式电子器件的主要电源。储存在蓄电池中的能量是有限的。它由储存材料的能量密度(Wh/L)、其化学性质和蓄电池的体积决定。例如，对于具有250Wh/L能量密度的典型的Li离子蜂窝式电话蓄电池来说，10cc蓄电池将储存2.5Wh的能量。根据使用，能量能够维持几小时至几天。再充电总是需要接入到电插座。有限的储存能量的量和频繁再充电是与蓄电池有关的主要麻烦。因此，需要一种用于蜂窝式电话电源的持续更长时间、容易再充电的解决方案。实现该需要的一种手段是具有带有可再充电蓄电池的混合式电源和对蓄电池涓流充电的方法。对于用于对蓄电池再充电的能量转换装置的重要考虑包括功率密度、能量密度、尺寸以及能量转换效率。诸如太阳能电池、利用环境温度波动的热电发电机及利用自然振动的压电发电机的能量获取方法是对蓄电池涓流充电的非常有吸引力的电源。然而，由这些方法产生的能量小，通常仅为几毫瓦。在感兴趣的模式中，即几百毫瓦，这指示需要大体积来产本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制作燃料电池的方法，该方法包括：　　蚀刻基板的第一侧以限定沟道；　　在所述基板的第一侧上形成基座，所述基座具有限定与所述沟道对准的燃料区域的阳极侧，以及阴极侧；　　将电解质布置在所述阴极侧和所述阳极侧之间；　　用绝缘体覆盖所述燃料区域；以及　　从第二侧去除所述基板的一部分以暴露所述沟道。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种制作燃料电池的方法，该方法包括蚀刻基板的第一侧以限定沟道；在所述基板的第一侧上形成基座，所述基座具有限定与所述沟道对准的燃料区域的阳极侧，以及阴极侧；将电解质布置在所述阴极侧和所述阳极侧之间；用绝缘体覆盖所述燃料区域；以及从第二侧去除所述基板的一部分以暴露所述沟道。2. 根据权利要求l所述的方法，其中所述蚀刻步骤包括执行深反 应离子蚀刻。3. 根据权利要求2所述的方法，其中所述蚀刻步骤包括提供具有 直径为5至20微米的沟道的蚀刻。4. 根据权利要求2所述的方法，其中所述蚀刻步骤包括提供具有 纵横比为1:10的沟道的蚀刻。5. 根据权利要求2所述的方法，其中所述蚀刻步骤包括提供具有 最小特征尺寸为IO微米的沟道的蚀刻。6. 根据权利要求l所述的方法，其中所述蚀刻步骤包括执行电化 学蚀刻。7. 根据权利要求6所述的方法，其中所述蚀刻步骤包括提供具有 深度为5至200微米的沟道的蚀刻。8. 根据权利要求6所述的方法，其中所述蚀刻步骤包括提供具有 纵横比为1:100的沟道的蚀刻。9. 根据权利要求6所述的方法，其中所述蚀刻步骤包括提供具有最小特征尺寸为1.0至5.0微米的沟道的蚀刻。10. 根据权利要求1所述的方法，进一步包括用材料覆盖所述沟 道以防止随后的步骤填充所述沟道。11. 根据权利要求1所述的方法，其中所述形成步骤包括在所述基 板的第一侧上方构图固体质子传导电解质，以限定由所述固体质子传 导电解质分隔的所述阳极侧和所述阴极侦'J 。12. 根据权利要求ll所述的方法，其中所述形成步骤进一步包括 用电催化剂来涂覆所述阳极侧和所述阴极侧，其中所述阳极侧限定燃 料区域，以及所述阴极侧限定氧化剂区域。13. 根据权利要求l所述的方法，其中所述形成步骤包括在所述基板的第一侧上构图多孔的金属层，以限定由空腔分隔的所述阳极侧和所述阴极侧；以及用质子传导电解质材料来填充所述空腔。14. 根据权利要求l所述的方法，其中所述形成步骤包括 在所述基板的第一侧上沉积多金属层；蚀刻所述多金属层中的至少一种金属，由...

【专利技术属性】
技术研发人员：帕维特S曼加特，约翰J蒂乌尔索，乔达里R科里佩拉，拉姆库玛尔克里什南，
申请(专利权)人：摩托罗拉公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]