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形成微型燃料电池的方法技术
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下载形成微型燃料电池的方法的技术资料
文档序号:5439136
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提供了一种制作燃料电池的方法,该方法仅需要前侧对准技术来制作气体进入孔。该方法包括蚀刻基板(12)的前侧以提供沟道(24、26),以及在基板的前侧上形成基座(54、88),其中该基座(54、88)包括限定与沟道(24、26)对准的燃料区域(...
该专利属于摩托罗拉公司所有,仅供学习研究参考,未经过摩托罗拉公司授权不得商用。
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