【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及放电灯、具备该放电灯的光源装置、具备该光源装置的 曝光装置以及该啄光装置的制造方法。
技术介绍
在用于制造各种设备(微型设备、电子设备等)的光刻工序中，为 了将形成于母版(或光掩模等)上的图案向涂布有抗蚀剂的晶片(或玻 璃平板等)上转印，使用步进机等一次性曝光型(静止曝光型)的投影 曝光装置及扫描步进装置等扫描啄光型的投影曝光装置等曝光装置。在 这些曝光装置中，以往使用将水银灯等放电灯与聚光镜组合而构成的曝 光用的光源装置，其放电灯被经由给定的安装机构保持。以往的放电灯的安装机构的一个例子是如下的机构，即在放电灯 的灯头设置凸缘部及环状的槽部，将片簧的开口部卡合在该槽部中，利 用该片簧来将该凸缘部向支架推压而固定(例如参照专利文献1 )。该机 构中，在放电灯的安装或更换时，为将该片簧的夹钳机构松开以使该灯 头可以通过该片簧的开口部，需要使该片簧滑动。另外，以往的放电灯 的安装机构的其他的例子是如下的机构，即在放电灯的灯头中设置定 位销等，将该灯头以给定的旋转角插入设于平板状的安装板上的圆形的 开口部，通过将设于该开口部的螺旋开槽部用螺栓紧固，而将该...
【技术保护点】
一种放电灯，其具备：形成发光部的玻璃构件和与该玻璃构件连结的灯头构件，其特征在于， 所述放电灯经由所述灯头构件可拆装地保持于与该放电灯分立地设置的保持构件， 所述灯头构件具有： 抵接部，其与所述保持构件抵接而规定所述发光部相对于所述保持构件的在第一方向的位置； 被推靠部，其被施加将所述抵接部沿着所述第一方向向所述保持构件推压的推压力； 嵌合部，其设在所述抵接部与所述被推靠部之间，并与所述保持构件嵌合； 槽部，其设在所述嵌合部中，并在其与所述保持构件之间构成从所述抵接部附近直至所述被推靠部的冷却用介质的流路。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2006.9.1 JP 237252/2006;2007.1.15 JP 006462/2007;1. 一种放电灯，其具备形成发光部的玻璃构件和与该玻璃构件连结的灯头构件，其特征在于，所述放电灯经由所述灯头构件可拆装地保持于与该放电灯分立地设置的保持构件，所述灯头构件具有抵接部，其与所述保持构件抵接而规定所述发光部相对于所述保持构件的在第一方向的位置；被推靠部，其被施加将所述抵接部沿着所述第一方向向所述保持构件推压的推压力；嵌合部，其设在所述抵接部与所述被推靠部之间，并与所述保持构件嵌合；槽部，其设在所述嵌合部中，并在其与所述保持构件之间构成从所述抵接部附近直至所述被推靠部的冷却用介质的流路。2. 根据权利要求l所述的放电灯，其特征在于，所述被推靠部包含 设于所述灯头构件的敞口端附近的凹部。3. 根据权利要求2所述的放电灯，其特征在于，所述槽部与所述凹 部连通。4. 根据权利要求l所述的放电灯，其特征在于，所述被推靠部包含 设于所述灯头构件的敞口端附近的段部。5. 根据权利要求4所述的放电灯，其特征在于，所述段部包含具有 比与所述第一方向正交的面中的所述嵌合部的截面积小的截面积的小 直径部。6. 根据权利要求5所述的放电灯，其特征在于，所述嵌合部和所述 小直径部均具有以与所述第一方向平行的轴为中心的圆形截面，所述小直径部的直径为所述嵌合部的直径的1/2以下。7. 根据权利要求4至6中任意一项所述的放电灯，其特征在于，所 述槽部与所述段部连通。8. 根据权利要求1至7中任意一项所述的放电灯，其特征在于，所 述嵌合部规定与所述第一方向正交的方向上的所述发光部相对于所述 保持构件的位置。9. 根据权利要求1至8中任意一项所述的放电灯，其特征在于，所 述玻璃构件具有与所述灯头构件连结的棒状部，所述嵌合部的粗细与所述棒状部的粗细大致相同。10. 根据权利要求1至9中任意一项所述的放电灯，其特征在于， 所述槽部被环绕沿着所述第一方向的轴以螺旋状形成。11. 根据权利要求1至10中任意一项所述的放电灯，其特征在于， 在所述放电灯的所述抵接部形成至少一个定位部。12. 根据权利要求ll所述的放电灯；其特征在于，所述定位部被设 于与所述嵌合部中的所述槽部的形成位置对应的位置。13. 根据权利要求1至12中任意一项所述的放电灯，其特征在于， 所述灯头部的所述第一方向的长度为所述放电灯的全长的1/5以上且 1/4以下。14. 根据权利要求1至13中任意一项所述的放电灯，其特征在于， 所述嵌合部与所述保持构件嵌合的部分的面积，大于设在所述嵌合部中 的所述槽部的面积。15. 根据权利要求14所述的放电灯，其特征在于，所述嵌合部与所 述保持构件嵌合的部分的面积，大于设在所述嵌合部中的所述槽部的面 积的2倍。16. 根据权利要求1至15中任意一项所述的放电灯，其特征在于， 所述放电灯具有在与所述灯头构件不同的位置与所述玻璃构件连结的 第二灯头构件，其中，所述第二灯头构件在内部设置冷却用介质所流通的流路。17. 根据权利要求16所述的放电灯，其特征在于，设在所述第二灯 头构件中的所述流路，被环绕沿着所述第一方向的轴以螺旋状形成。18. 根据权利要求16或17所述的放电灯，其特征在于，所述灯头 构件与所述第二灯头构件是用于接收点亮所述放电灯用的电力的供给 的与各个不同极性对应的电力接收部，所述第二灯头构件具备不仅供给点亮所述放电灯用的电力而且被 供给所述冷却用介质的用力接收端子。19. 根据权利要求16至18中任意一项所述的放电灯，其特征在于， 所述第二灯头构件被相对于所述灯头构件夹隔所述玻璃构件而设于沿 着所述第一方向的相反一侧。20. —种放电灯，其具备形成发光部的玻璃构件；与该玻璃构件 连结的第一灯头构件；以及在与所述第一灯头构件不同的位置与所述玻 璃构件连结的第二灯头构件，其特征在于，所述放电灯经由所述第一灯头构件可拆装地保持于与该放电灯分 立地设置的保持构件，所述第一灯头构件具有抵接部，其与所述保持构件抵接而规定所述发光部相对于所述保持 构件的在第一方向的位置；嵌合部，其相对于所述抵接部处于所述玻璃构件的沿着所述第一方 向的相反一侧，并与所述保持构件嵌合；槽部，其设在所述嵌合部中，在其与所述保持构件之间构成冷却用 介质的流路，所述第二灯头构件具备冷却所述第二灯头构件的冷却用介质所流 通的流路。21. 根据权利要求20所述的放电灯，其特征在于，所述嵌合部规定 与所述第一方向正交的方向上的所述发光部相对于所述保持构件的位 置。22. 根据权利要求20或21所述的放电灯，其特征在于，所述玻璃 构件具有与所述第 一灯头构件连结的棒状部，所述嵌合部的粗细与所述棒状部的粗细大致相同。23. 根据权利要求20至22中任意一项所述的放电灯，其特征在于， 所述槽部被环绕沿着所述第一方向的轴以螺旋状形成。24. 根据权利要求20至23中任意一项所述的放电灯，其特征在于， 在所述放电灯的所述抵接部形成至少一个定位部。25. 根据权利要求24所述的放电灯，其特征在于，所述定位部被设 于与所述嵌合部中的所述槽部的形成位置对应的位置。26. 根据权利要求20至25中任意一项所述的放电灯，其特征在于， 所述第一灯头部的所述第一方向的长度为所述放电灯的全长的1/5以上 且1/4以下。27. 根据权利要求20至26中任意一项所述的放电灯，其特征在于， 所述嵌合部与所述保持构件嵌合的部分的面积，大于设在所述嵌合部中 的所述槽部的面积。28. 根据权利要求27所述的放电灯，其特征在于，所述嵌合部与所 述保持构件嵌合的部分的面积，大于设在所述嵌合部中的所述槽部的面 积的2倍。29. 根据权利要求20至28中任意一项所述的放电灯，其特征在于， 所述第二灯头构件具备冷却用介质所流通的流路。30. 根据权利要求29所述的放电灯，其特征在于，所述第一灯头构 件、所述发光部及所述第二灯头构件被沿着所述第一方向配置，设在所述第二灯头构件中的所述流路，被环绕沿着所述第一方向的 轴以螺旋状形成。31. 根据权利要求20至30中任意一项所述的放电灯，其特征在于， 所述第一灯头构件与所述第二灯头构件是用于接收点亮所述放电灯用 的电力的供给的与各个不同极性对应的电力接收端子，所述第二灯头构件具备不仅供给点亮所述放电灯用的电力而且被 供给所述冷却用介质的用力接收端子。32. —种放电灯，其通过在相互分离的第一及第二电极间放电来发 光，其特征在于，所述放电灯具备与所述第一电极连接的第一灯头构件和与所述第 二电极连接的第二灯头构件，在所述第一灯头构件中，形成有冷却所述第一灯头构件的冷却介质 所流动的第一流路，在所述第二灯头构件中，形成有冷却所述第二灯头 构件的冷却介质所流动的第二流路。33. 根据权利要求32所述的放电灯，其特征在于，所述第一灯头构 件、所述第一电极、所述第二电极及所述第二灯头构件配置于相同的一 个轴上，所述第一流路与所述第二流路被以环绕所述一个轴的螺旋状形成。34. 根据权利要求32或33所述的放电灯，其特征在于，所述第二 灯头构件具备供给冷却所述第二灯头构件的冷却介质、放电用的电力的 用力接收端子。35. —种光源装置，其具备具有形成发光部的玻璃构件和与该玻 璃构件连结的灯头构件的放电灯；具有经由所述灯头构件保持所述放电 灯的保持构件的保持装置，其特征在于，所述放电灯所具备的所述灯头构件具有抵接部，其与所述保持构件抵接而规定所述发光部相对于所述保持 构件的在第一方向的位置；被推靠部，其被施加将所述抵接部沿着所述第一方向向所述保持构 件推压的推压力；嵌合部，其设在所述抵接部与所述被推靠部之间，并与所述保持构 件嵌合；槽部，其设在所述嵌合部中，在其与所述保持构件之间构成从所述抵接部附近直至所述被推靠部的冷却用介质的流路，所述保持装置具有 所述保持构件；对所述被推靠部施加所述推压力的推靠构件；切换机构，其切换利用所述推靠构件的将所述抵接部向所述保持构 件的推压和该推压的解除；介质供给装置，其将用于冷却所述灯头构件的所述冷却用介质经由 所述槽部向所述流路供给。36. 根据权利要求35所述的光源装置，其特征在于，所述放电灯的 所述被推靠部具有段部，在利用所述推靠构件将所述抵接部向所述保持 构件推压之时，所述推靠构件的至少一部分插入所述段部。37. 根据权利要求35或36所述的光源装置，其特征在于，设在所 述灯头部中的所述槽部，被以环绕沿着所述第一方向的轴的螺旋状形 成。38. 根据权利要求35至37中任意一项所述的光源装置，其特征在 于，在所述放电灯的所述抵接部形成至少一个定位部，在所述保持装置的所述保持构件形成与所述定位部卡合的至少一 个凸部。39. 根据权利要求35至37中任意一项所述的光源装置，其特征在 于，在所述放电灯的所述抵接部形成至少一个定位部，在所述保持装置的所述保持构件形成与所述定位部卡合的至少一 个凸部，所述定位部与所述凸部在将所述放电灯安装在所述保持装置上的 状态下在所述介质供给装置与所述槽部连通的位置卡合。40. 根据权利要求36所述的光源装置，其特征在于， 所述保持装置具有弹性构件；移动件，其具有相对于所述第一方向倾斜的锥面，因有所述弹性构 件的弹力作用而沿着所述第一方向移动；臂构件，其与所述锥面抵接而将所述移动件的所述第一方向的移动变换为朝向所述段部的插入方向的移动，并作为至少一部分被插入所述 段部的所述推靠构件。41. 根据权利要求40所述的光源装置，其特征在于，所述移动件包 含将所述放电灯的所述灯头构件的至少一部分包围地配置的圆筒状的 构件，所述臂构件被环绕所述灯头构件以大致等角度间隔配置多个。42. 根据权利要求40或41所述的光源装置，其特征在于，所述保 持装置的所述切换机构具有可旋转地配置的杆构件；连杆机构，其与所述杆构件的旋转角对应地将所述移动件沿所述第 一方向移动。43. 根据权利要求35至42中任意一项所述的光源装置，其特征在 于，所述放电灯具有在与所述灯头构件不同的位置与所述玻璃构件连结 的第二灯头构件，在所述第二灯头构件的内部设置冷却用介质所流通的流路。44. 根据权利要求43所述的光源装置，其特征在于，所述灯头构件、 所述发光部及所述第二灯头构件被沿着所述第一方向配置，所述第二灯头构件具有以环绕沿着所述第一方向的轴的螺旋状形 成的流路。45. 根据权利要求43或44所述的光源装置，其特征在于，所述第 二灯头构件具备供给所述冷却用介质和点亮所述放电灯用的电力的用 力接收端子。46. 根据权利要求43至45中任意一项所述的光源装置，其特征在 于，具备可与所述用力接收端子卡合的用力供给端子；向所述用力供给端子导入电力和冷却用介质的由导体形成的具有 柔软性的管状电缆。47. —种放电灯，其特征在于， 所述放电灯具备 形成发光部的玻璃构件；灯头构件，其具有与该玻璃构件的第一方向侧连结并沿与所述第一 方向正交的第二方向延伸的抵接部；被施加沿着所述第一方向的力的被 推靠部；设在所述抵接部与所述被推靠部之间的嵌合部；设在所述嵌合 部中的槽部，其中，所述灯头构件可保持在如下的保持装置上，其利用对所述被 推靠部施加的所述第一方向的力与所述抵接部抵接而规定所述发光部 的所述第一方向的位置，并且通过与所述嵌合部嵌合而规定与所述第一 方向正交的方向的位置，而且向形成于所述保持构件与所述槽部之间的 流路供给冷却用介质。48. 根据权利要求47所述的放电灯，其特征在于，所述灯头构件的 所述被推靠部具有段部，用于对所述灯头构件作用所述第 一方向的力的 推靠构件的至少一部分插入所述段部。49. 根据权利要求47或48所述的放电灯，其特征在于，所述槽部 被以环绕沿着所述第一方向的轴的螺旋状形成。50. 根据权利要求4...
【专利技术属性】
技术研发人员：白数广，青木保夫，小山元夫，菊池孝幸，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：JP
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