下载放电灯、光源装置、曝光装置及曝光装置的制造方法的技术资料

文档序号:5432454

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本发明提供一种能够容易且短时间内进行放电灯相对于安装机构 的安装等的光源装置。本发明的光源装置,具备:具有形成发光部的玻 璃管(25)和与其连结的灯头部(26)的放电灯(1);经由灯头部(26) 保持放电灯(1)的安装装置(31),其中,灯...
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