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放电灯、光源装置、曝光装置及曝光装置的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:5432454
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本发明提供一种能够容易且短时间内进行放电灯相对于安装机构 的安装等的光源装置。本发明的光源装置,具备:具有形成发光部的玻 璃管(25)和与其连结的灯头部(26)的放电灯(1);经由灯头部(26) 保持放电灯(1)的安装装置(31),其中,灯...
该专利属于株式会社尼康所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社尼康授权不得商用。
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