用来处理高纯度材料的系统和方法技术方案

本发明专利技术揭示用来处理高纯度材料的系统和方法。单元操作处理材料流，该单位操作的操作参数被监测，而备用单元被充以增压气体以达到系统压力。材料流响应记录门限值的单元操作的操作参数被转移到备用单元。在增压气体已被净化之后，离开备用单元的流动首先经由出口被放出，然后被引向使用点。然后，该单元操作可能被维护，随后被恢复联机。第二单元操作可能同时处理第二材料流，而且第二材料流可能以相似的方式被定期地转移到备用单元，借此减少管线压力变化。所揭示的方法可能是通过手操作完成的或者是通过使用控制器自动实现的。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术的至少一个实施方案通常涉及用来处理材并牛的系统 和方法，更具体地说，涉及用来处理高纯度材料(例如，磨粉浆) 的系乡克禾口方法。
技术介绍
高纯度处理材料是需要的，举例来说，在制药工业、化妆品 工业和半导体工业中。在半导体工业中，混合型处理材库+通常是 使用将原料《I进混合子系统的制造系统准备的。为了生产 一批对 于其倾向性应用可^妄受的混合型处理材料和保证批间的 一致性，精确性是必不可少的。然后， 一批通常在下游一皮进一步处理，例 如，在递送给工具之前经历过滤纟乘作或进一步的混合。在许多应用中，不断地将混合型处理材料供应线给使用点是 符合需要的。备用单元通常用来4吏一个或多个处理元素定期;也脱 机变得容易，以便于维护。然而，在与这样的转换相关联的处理 参数中甚至较小的变动都可能导致高纯度材料的连续递送和/或 质量的重大破坏。举例来说，系统内有害的压力降可能是特别关 心的。
技术实现思路
依照一个或多个实施方案，本专利技术通常涉及用来处理高纯度 材详牛的系统和方法。依照 一 个或多个实施方案，本专利技术涉及处王里高纯度才才津牛的方 法，该方法包括下列行为将第一材料的流动引进第一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种处理高纯度材料的方法，该方法包括下列行为：　将第一材料的流动引进第一单元操作；　监测第一单元操作的操作参数；　用增压气体充满第二单元操作；　清除来自第二单元操作的增压气体；以及　响应记录门限值的第一单元操作的操作参数将第一材料的流动转移到第二单元操作。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：大卫凯迪耶利，托德格雷夫斯，杨瑞龙，
申请(专利权)人：迅捷公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]