【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及加工方法和设备,用于制造具有剪切织构或最小厚度方向织构梯度或这二者的板材和片材。
技术介绍
板材或片材的结晶织构在许多应用场合扮演着重要角色。结晶织构对于用于沉积薄膜的溅射靶的性能而言至关重要,这是因为溅射速率取决于结晶织构。由具有非均匀结晶织构的溅射靶沉积薄膜的均匀度不能令人满意。只有在整个体积内都具有均匀织构的板材才能获得最佳性能。 靶中晶粒的溅射速率取决于晶粒的晶面相对于表面的取向(参看Zhang等人的 "Effect of Grain Orientation on Tantalum MagnetronSputtering Yield,,, J. Vac. Sci. Techno 1. A 24 (4) , 2006年7/8月刊);相对于板材法向的每个取向的溅射速率是不同的。 另外,某些结晶方向是溅镀原子飞行的优选方向(参看Wickersham等人的"Measurement ofAngular Emission Trajectories for Magnetron-Sputtered Tantal咖,,,J. Electronic Mat. ...
【技术保护点】
一种轧制金属板材或片材的方法,该方法包括下述步骤:将板材或片材以水平面上方或下方2-20度之间的角度进给到轧机的轧辊之间。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员:D博兹卡亚,PR杰普森,
申请(专利权)人:HC斯塔克公司,
类型:发明
国别省市:US[美国]
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