辉光放电辅助加热离子化学热处理炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种辉光放电辅助加热离子化学热处理炉，在炉体（２）的真空室内放置一钢制圆筒（４），欲处理的工件（５）摆放在工作台上（６）上，圆筒、工作台、炉体之间相互绝缘。离子化学热处理前，先通过转换开关（８）将离子化学热处理炉的直流电源（１）负极接在圆筒上，圆筒产生辉光放电并被加热，利用圆筒的热辐射对工件进行预热。待工件达到预热温度后，将直流电源的负极切换到工作台上，工件开始辉光放电加热并进行离子化学热处理，这样可以缩短工件溅射清理的时间，防止直流电源因过流损坏。在离子化学热处理过程中，圆筒与工件也可以同时接直流电源的负极，依靠圆筒的辅助加热提高工件温度均匀性，并解决了工件测温难的问题。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

辉光放电辅助加热离子化学热处理炉
本技术属于一种金属材料表面离子化学热处理装置，更具体地说它是一种 带有辉光辅助加热功能的离子化学热处理装置。
技术介绍
离子化学热处理包括离子渗氮、渗碳、氮碳共渗、渗硫、渗金属、等离子体化 学气相沉积等。它是将欲处理的工件置于离子化学热处理炉的真空室内，工件接直流辉 光放电电源的负极，炉体接正极。在直流电场作用下，炉内气体发生辉光放电，生成的 正离子轰击阴极(工件)的表面，将工件加热到所需要的化学热处理温度(一般在400 600°C之间)，同时气体辉光放电激活了反应气体，在工件表面发生一系列的物理化学反 应，达到工件表面改性处理的目的。在辉光放电的初始阶段，由于工件表面不可避免地存在一些未清洗干净的污 物，如棉花毛、油污、锈斑等，工件表面打弧十分频繁，容易烧伤工件表面，大电流的 弧光放电也容易损坏直流辉光放电电源，这时应采取低直流电压、低真空室气体压强的 办法，缓慢升高工件的温度。当工件被加热到约350°C以上后，打弧现象逐渐消失，这时 可以升高直流电压和炉内气体压强，将工件快速加热到离子化学热处理所需要的温度。 离子化学热处理前的溅射清理本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种辉光放电辅助加热离子化学热处理炉，包括直流辉光放电电源（１）、炉体（２）、隔热屏（３）、供气系统（７）、温度控制系统（９）和真空控制系统（１０），欲处理工件（５）摆放在炉内工作台（６）上，其特征在于在炉内靠近炉壁的部位放置一个钢制薄壁圆筒（４），工作台置于圆筒的中间，圆筒、工作台、炉体之间相互绝缘，直流电源的正极接在炉体外壳上，并接地保护，直流电源的负极通过转换开关（８）与圆筒相接，使圆筒产生辉光放电并被加热，工件在圆筒的热辐射作用下被加热；待工件达到预热温度后，通过转换开关将直流电源的负极切换到工作台上，工件开始辉光放电加热并进行离子化学热处理。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵程，郑少梅，
申请(专利权)人：青岛科技大学，
类型：实用新型
国别省市：95[中国|青岛]