一种阴极盘支承装置制造方法及图纸

技术编号:4338711 阅读:210 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术公开了一种阴极盘支承装置,其特征在于包括屏蔽接触套、绝缘柱和底盘;所述屏蔽接触套套在绝缘柱的上部,所述绝缘柱固定在底盘上;另外,在所述屏蔽接触套内壁和绝缘柱之间设有屏蔽间隙。所述屏蔽接触套的下部横截面大于上部横截面形成防溅射段。所述屏蔽接触套的顶部为尖端。所述底盘上设有调节螺钉。该装置具有结构简单,与阴极盘接触处永不打弧和防溅射的保护,工作安全可靠。另外,由于其结构简单,又便于生产,而且成本低廉,因此适于广泛推广。(*该技术在2019年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种离子氮化炉支承装置,尤其涉及一种阴极盘支承装置
技术介绍
离子氮化具有渗氮速度快、渗层组织易于控制、热效率高、工件变形小、节约能源、 脆性小、无公害污染、劳动条件好、防渗容易、在真空中处理工件不氧化、不脱碳和处理后的 工件表面质量好等优点。经离子氮化后的零件表面硬度高、耐磨性好、耐腐蚀性和抗疲劳性 都有较大提高,可解决磨损条件下的许多问题,如磨损、疲劳、腐蚀、粘着等。它可以用来对 碳钢、合金钢、不锈钢、热强钢、铸铁、球墨铸铁、钛及钛合金等进行离子氮化工艺处理。完 成这种工件表面强化工艺的设备为离子氮化炉,而离子氮化炉的核心之一是阴极盘支承装 置。由于被处理工件都放在阴极盘上,因此所有工件和阴极盘的重量全部靠阴极盘支承装 置支承并保持与炉体绝缘。为了保证阴极盘支承装置正常工作,应满足①与阴极盘接触处不打弧。②不能因 溅射物使绝缘失效。在已有的阴极盘支承装置中存在着一些不足之处与阴极盘接触处的调整很不方 便,经常出现打弧现象。绝缘体没有保护,溅射物很容易布满其表面,使绝缘作用失效,造成 设备无法使用,因此需用砂纸对绝缘体进行经常打磨,这样直接影响着整个设备的工作效 率本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种阴极盘支承装置,其特征在于包括屏蔽接触套(1)、绝缘柱(2)和底盘(4);所述屏蔽接触套(1)套在绝缘柱(2)的上部,所述绝缘柱(2)固定在底盘(4)上;另外,在所述屏蔽接触套(1)内壁和绝缘柱(2)之间设有屏蔽间隙(a)。

【技术特征摘要】
一种阴极盘支承装置,其特征在于包括屏蔽接触套(1)、绝缘柱(2)和底盘(4);所述屏蔽接触套(1)套在绝缘柱(2)的上部,所述绝缘柱(2)固定在底盘(4)上;另外,在所述屏蔽接触套(1)内壁和绝缘柱(2)之间设有屏蔽间隙(a)。2.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘伟刘世永
申请(专利权)人:大连海事大学
类型:实用新型
国别省市:91[中国|大连]

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