【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种离子化学热处理设备，属于热处理
离子渗碳，离子渗氮等化学热处理技术在机械领域中得到了广泛应用。离子化学热处理设备的关键在于离子电源的灭弧性能和可靠性。目前，使用最广泛的是直流离子电源，如专利申请93106192和专利95203653。即在真空炉体中设置一阴极板，其上放置工件，炉体接阳极，在阴阳极间接数百伏直流电源，在真空状态下，阴极产生辉光并被加热，在一定温度和一定的气氛下，工件表面渗入化学元素，达到离子化学热处理的目的。为了得到稳定的辉光放电，限制弧光和熄灭弧光，电源采取了电容电感振荡、限流电阻限流、可控硅电流截止等灭弧措施。但由于电压、电流、气压等工艺参数各异，不易确定灭弧的电参数，因而灭弧措施可靠性差，电路也较复杂且电路中的限流电阻上耗损了大量能量。现在离子化学热处理设备主要是用于温度低于650℃的离子氮化工艺，炉膛温度均匀性差，测温也不准确，如果用于渗碳和碳氮共渗，由于工艺温度高于800℃，相应要提高电源电压才能提供足够的能量保证热平衡，这样更易产生弧光放电。所以，一般需要另加辅助加热源，炉内加装发热体，又要配辅助加热电源，...
【技术保护点】
一种离子化学热处理设备，包括炉体（１）和离子电源（２），其特征在于离子电源是三相交流可调电源，其输出Ａ′、Ｂ′、Ｃ′分别接炉内三组独立极板（１－１）、（１－２）、（１－３），三组极板分别作为放置工件的工作台或辅助加热极板，三极板都利用辉光放电加热。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种离子化学热处理设备，包括炉体(1)和离子电源(2)，其特征在于离子电源是三相交流可调电源，其输出A′、B′、C′分别接炉内三组独立极板(1-1)、(1-2)、(1-3)，三组极板分别作为放置工件的工作台或辅助加热极板，三极板都利用辉光放电加热；2.根据权利要求1所述的离子化学热处理设备，其特征在于三相交流可调电源主回路主要由三相升压变压器(...
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