【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种微机械陀螺仪，尤其涉及一种具有解耦特性的轮式单结构三轴微 机械陀螺仪。属于微机电系统(MEMS)领域。
技术介绍
微机械陀螺仪是基于微机电系统的惯性器件，可用来测量运动物体的角速度。和 传统陀螺仪相比，微机械陀螺仪具有体积小，质量轻，价格低廉，更适合大批量生产等特点。 传统陀螺仪，包括机械陀螺仪，激光陀螺仪，光纤陀螺仪等等，一直广范应用于飞行器稳定 控制，武器导航制导，汽车安全等领域，由于这些陀螺仪体积大，成本高而不适合应用于消 费类电子产品。近年来，随着MEMS技术的发展，微机械陀螺仪正逐渐应用于消费类电子产 品，如数码相机的图像稳定，游戏机的控制手柄，手机功能控制，以及和微加速度传感器构 成的微导航仪等等。微机械陀螺仪主要由驱动部分和感应部分组成，由于其设计和制造的复杂性，目 前市场上出现的多为一轴和二轴陀螺仪，三轴陀螺仪的应用一般是多个一轴或二轴陀螺仪 的正交装配，或者将多个陀螺仪集成在单个芯片上，这些都达不到消费电子类产品市场追 求小型化的目的。开发单结构三轴陀螺仪，已经成为微机械陀螺仪研发的重要方向，目前已 知的单结构三轴微机械陀螺仪...
【技术保护点】
一种轮式单结构三轴微机械陀螺仪，包括玻璃衬底和单晶硅层，所述单晶硅层采用键合的方式固定设置在玻璃衬底上，其特征在于：所述单晶硅层位于玻璃衬底的中心位置，它包括中心支撑、水平轴结构和ｚ轴结构，所述水平轴结构包括水平轴驱动电极和水平轴质量块，所述ｚ轴结构包括ｚ轴驱动电极、ｚ轴质量块和ｚ轴感应电极，所述的中心支撑位于玻璃衬底的中心处，中心支撑以键合的形式固定设置在玻璃衬底上，所述的水平轴驱动电极、水平轴质量块、ｚ轴驱动电极、ｚ轴质量块和ｚ轴感应电极位于中心支撑的外围，所述玻璃衬底上对应于水平轴质量块的安装位置刻有凹槽，所述凹槽内沉积有金属层，形成下极板，所述下极板与玻璃衬底上的信号引线相连。
【技术特征摘要】
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