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一种压力传感型真空度测量装置制造方法及图纸

技术编号:5278340 阅读:178 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术涉及一种压力传感型真空度测量装置,它包括一块圆形柔性橡胶板及一块圆形刚性密封板,两者固定在刚性密封圈上构成一个密闭空间,压力传感器的受力端与柔性橡胶板外侧连接且由刚性固定板将其外端固定在刚性密封圈上。当测量某一密闭空间内的真空度时,将装置放置其中,在气压差的作用下,该装置的柔性橡胶板变形将形变力传给与之相连的压力传感器,从而测出形变压力,即可计算被测密闭空间的真空度。(*该技术在2019年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种压力传感型真空度测量装置,属于精密测量

技术介绍
在工业测量中,经常遇到进行真空度测量的场合,但是目前真空度测量装置体积 较大,且价值昂贵,使用步骤繁琐,限制了普通工业场合的应用。
技术实现思路
针对上述不足,本技术提供了一种压力传感型真空度测量装置,这种装置内 部有固定气压,随空间真空度变化带动柔性橡胶变形将形变力传给与之相连的压力传感 器,读出压力变化,通过计算即可得被测空间真空度值。本技术通过以下技术实现一种压力传感型真空度测量装置,它包括一块圆形柔性橡胶板及一块圆形刚性密 封板,两者固定在刚性密封圈上构成一个密闭空间,压力传感器的受力端与柔性橡胶板外 侧连接且由刚性固定板将其外端固定在刚性密封圈上。本技术的压力传感型真空度测量装置,主要由刚性密封圈,刚性密封板,柔性 橡胶板,压力传感器及压力传感器固定装置刚性固定板组成,其特征为该装置由一块圆形 柔性橡胶板及一块圆形刚性密封板固定在刚性密封圈上构成一个密闭空间,压力传感器的 受力端与柔性橡胶板外侧连接且由刚性固定板将其外端固定在刚性密封圈上,当测量某一 密闭空间内的真空度时,将装置放置其中,在气压差的作用下,本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压力传感型真空度测量装置,其特征是,它包括一块圆形柔性橡胶板及一块圆形刚性密封板,两者固定在刚性密封圈上构成一个密闭空间,压力传感器的受力端与柔性橡胶板外侧连接且由刚性固定板将其外端固定在刚性密封圈上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:刘保龙张正旬门洪斌张朝孙杰吴冬雨莫才勇
申请(专利权)人:刘保龙
类型:实用新型
国别省市:88[中国|济南]

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