真空度检测仪制造技术

本发明专利技术申请涉及的是真空度电子检测装置。本真空度检测仪实质为真空度的湿度检测仪，本检测仪的湿度检测头连接于密封装配安装在真空腔体的电连接部件上，湿度检测头变送信号的信号处理单元与电连接部件连接设置，共同构成本真空度检测仪。本技术方案改变了通过检测压力值的方法检测真空度的意识误区，而利用湿度检测手段来完成真空度的检测，因此避开压力仪表的管道机械式连接结构，只由密封装配更为简单的电连接插接头内外电连接，能够有效的、持久、稳定的保证真空状态，且体积小巧、易于保证检测精度、使用寿命长。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术专利申请涉及的是真空度电子检测装置。
技术介绍
直到目前，一个空间的真空度检测是通过压力检测来实现的。每一抽真空工作泵 都要配装压力表，其密封装配要求极为严格，安装相对复杂，使用中还会出现相当的偏差， 压力表及其附件的安装必然会有漏点出现的可能性，难以保证其正常的使用期。
技术实现思路
本专利技术专利申请的专利技术目的在于彻底改变直接测量压力值来实现真空度检测的 现有技术状况，提供一种新型利用湿度检测方法实现真空度检测的真空度检测仪，它具有 易于实现密封安装、密封可靠性高、安装构造简单的技术特点。本专利技术专利申请提供的真空 度检测仪技术方案，其主要
技术实现思路
是一种真空度检测仪，该真空度检测仪为真空度湿度 检测仪，本检测仪的湿度检测头连接于密封装配安装在真空腔体的电连接部件上，湿度检 测头变送信号的信号处理单元与电连接部件连接设置，共同构成本真空度检测仪。人们的共识是真空是一个气体压力低于一个大气压的空间状态，因此其真空度的 检测方法只有压力检测法才能实现。但在气体稀薄的真空状态下，其水汽含量同样减少，也 就是湿度也随之减少，本专利技术专利申请的真空度检测仪技术方案正是利用湿本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空度检测仪，其特征在于该真空度检测仪为真空度湿度检测仪，本检测仪的湿度检测头（３）连接于密封装配安装在真空腔体（１）的电连接部件上，湿度检测头变送信号的信号处理单元与电连接部件连接设置，共同构成本真空度检测仪。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王丽娜，邹利民，张建军，
申请(专利权)人：丹东科亮电子有限公司，
类型：发明
国别省市：21[中国|辽宁]