一种多线切割机砂浆喷流装置制造方法及图纸

一种多线切割机砂浆喷流装置，用于多线切割机批量切割半导体硅片或太阳能硅电池片；它的外套管（１）中固定安装有一端为砂浆入口而另一端封闭的内管（２），内管（２）外壁与外套管（１）内壁之间有环隙（６），内管（２）上部开有沿内管轴线均布的多个小圆孔（７），所述小圆孔（７）连通内管管腔与所述环隙；外套管（１）的下侧沿轴线开有狭缝开口槽（８）。该装置的结构特点和砂浆在装置内流向经多次改变，可提高砂浆流量、密度分布的均匀性，提高了设备的切割生产效率和改善切割硅片的表面质量。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体晶圆片或太阳能硅电池片生产设备。
技术介绍
多线切割机具有极高的硅片生产率和可获得优秀的硅片表面质量。多线切割机供 给切割的砂浆流量、密度分布的均勻性是影响出片率、出片品质的关键因素，密度不均或局 部断流无切割液会造成断线，使硅片有划痕，严重降低产品的合格率。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是，针对砂浆密度与流量分布不均勻问题，提出一 种多线切割机砂浆喷流装置，可以较大幅度提高砂浆供给的密度与流量的均勻性，提高硅 片切割的速率和品质。本技术的技术方案是，所述多线切割机砂浆喷流装置有外套管，其结构特点 是，所述外套管中装有一端为砂浆入口而另一端封闭的内管，内管外壁与外套管内壁之间 有环隙，内管上部开有沿内管轴线均布的多个小圆孔，所述小圆孔连通内管管腔与所述环 隙；外套管的下侧沿轴线开有狭缝开口槽。以下对本技术做出进一步说明。参见图1，本技术所述多线切割机砂浆喷流装置有外套管1，其结构特点是， 所述外套管1中固定安装有一端为砂浆入口而另一端封闭的内管2，内管2外壁与外套管1 内壁之间有环隙6，内管2上部开有沿内管轴线均布的多个小圆孔7，所述小圆孔7连通内 管管腔与所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多线切割机砂浆喷流装置，有外套管（１），其特征是，该外套管（１）中固定安装有一端为砂浆入口而另一端封闭的内管（２），内管（２）外壁与外套管（１）内壁之间有环隙（６），内管（２）上部开有沿内管轴线均布的多个小圆孔（７），所述小圆孔（７）连通内管管腔与所述环隙；外套管（１）的下侧沿轴线开有狭缝开口槽（８）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘咸成，吕文利，刘嘉宾，贾京英，龚杰洪，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十八研究所，
类型：实用新型
国别省市：43