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一种多线切割机砂浆喷流装置,用于多线切割机批量切割半导体硅片或太阳能硅电池片;它的外套管(1)中固定安装有一端为砂浆入口而另一端封闭的内管(2),内管(2)外壁与外套管(1)内壁之间有环隙(6),内管(2)上部开有沿内管轴线均布的多个小圆孔...该专利属于中国电子科技集团公司第四十八研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第四十八研究所授权不得商用。
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一种多线切割机砂浆喷流装置,用于多线切割机批量切割半导体硅片或太阳能硅电池片;它的外套管(1)中固定安装有一端为砂浆入口而另一端封闭的内管(2),内管(2)外壁与外套管(1)内壁之间有环隙(6),内管(2)上部开有沿内管轴线均布的多个小圆孔...