遮光元件阵列、遮光元件阵列制造方法及镜头模组阵列技术

本发明专利技术涉及一种遮光元件阵列，其包括一块透光平板及设于该透光平板上的遮光屏蔽层。该遮光屏蔽层具有多个间隔分布的通光孔。该遮光屏蔽层包括磁屏蔽层及夹设在该透光平板及该磁屏蔽层之间的遮光层。本发明专利技术还涉及一种制造该遮光元件阵列的方法及一种具有该遮光元件阵列的镜头模组阵列。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种光学元件，尤其涉及一种晶圆级(wafer level)遮光元件阵列、遮光元件阵列的制造方法及具有该遮光元件阵列的镜头模组阵列。
技术介绍
随着摄像技术的发展，镜头模组与各种便携式电子装置如手机、摄像机、电脑等的结合，更是得到众多消费者的青睐，所以市场对小型化镜头模组的需求增加。目前小型化镜头模组多采用精密模具等制程制造出微型光学元件，然后与硅晶圆制成的影像感测器电连接、封装，然后切割，得到相机模组。然而，随着镜头模组向着更加微小化发展，目前所采用的制程越来越不能满足微型光学元件的精度要求，而且制程中经常采用的黄光、微影、蚀刻等制程对环境影响大。
技术实现思路
有鉴于此，有必要提供一种能够更好的适应镜头模组向更加微小化发展的趋势，并且制程成本低廉且环境友好的遮光元件阵列、该遮光元件阵列的制造方法方法及具有该遮光元件阵列的镜头模组阵列。一种遮光元件阵包括一块透光平板及设于该透光平板上的遮光屏蔽层。该遮光屏蔽层具有多个间隔分布的通光孔。该遮光屏蔽层包括磁屏蔽层及夹设在该透光平板及该磁屏蔽层之间的遮光层。一种制造遮光元件阵列的方法，其包括：(1)提供一块透光平板；(2)于该透本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种遮光元件阵列，其包括一块透光平板及设于该透光平板上的遮光屏蔽层，该遮光屏蔽层具有多个间隔分布的通光孔，其特征在于，该遮光屏蔽层包括磁屏蔽层及夹设在该透光平板及该磁屏蔽层之间的遮光层。

【技术特征摘要】
1.一种遮光元件阵列，其包括一块透光平板及设于该透光平板上的遮光屏蔽层，该遮光屏蔽层具有多个间隔分布的通光孔，其特征在于，该遮光屏蔽层包括磁屏蔽层及夹设在该透光平板及该磁屏蔽层之间的遮光层。2.如权利要求1所述的遮光元件阵列，其特征在于：该磁屏蔽层包括自该遮光层向外依次设置的铜膜层及不锈钢膜层。3.如权利要求1所述的遮光元件阵列，其特征在于：该遮光层包括铬层或氮化铬层。4.如权利要求1所述的遮光元件阵列，其特征在于：该遮光元件阵列进一步包括夹设于该透光平板及该遮光层之间的滤光层。5.一种制造遮光元件阵列的方法，其包括：(1)提供一块透光平板；(2)于该透光平板上设置遮光层；(3)于该遮光层上形成磁屏蔽层；(4)于该磁屏蔽层上涂敷陶瓷粉体层，该陶瓷粉体层包括多个间隔分布的中央区域及围绕该多个中央区域的周边区域；(5)采用激光硬化的方式将该周边区域上的陶瓷粉体进行硬化；(6)去除该多个中央区域上的陶瓷粉体；(7)对该瓷屏蔽层及遮光层进行蚀刻，以使与该多个中央区域正对的透光平板曝露在外；(8)去除该被激光硬化过的陶瓷粉体，以形成一个遮光元件阵列。6.如权利要求5所述的制...

【专利技术属性】
技术研发人员：裴绍凯，王子威，
申请(专利权)人：鸿富锦精密工业深圳有限公司，鸿海精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：94[中国|深圳]