一种测量极小气体流量的装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种测量极小气体流量的装置，包括气瓶、微调阀、稳压室、四个阀门、吸气剂泵、分子泵、前级泵、电容薄膜规、磁悬浮转子规以及小孔，其中：气瓶通过微调阀与稳压室连接，小孔与阀门二并联后一端通过阀门一和稳压室相连，一端和真空系统相连，吸气剂泵通过阀门三和稳压室相连，前级泵和分子泵串连后通过阀门四和稳压室连接，电容薄膜规和磁悬浮转子规直接连接在稳压室的器壁上。本发明专利技术采用吸气剂泵对稳压室及其真空管道进行抽气，完全避免了稳压室及管道内壁放气引起的测量不确定度，保证了测量下限的有效延伸，使得流量值小于１×１０－８Ｐａ．ｍ３／ｓ的极小气体流量能够精确测量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种测量极小气体流量的装置和方法，特别涉及一种利用非蒸散型吸 气剂泵测量极小气体流量的装置和方法。
技术介绍
在计量实验室中，大多采用高精度气体微流量计测量和提供已知气体流量。高精 度气体微流量计多选用恒压式气体微流量计。文献“冯焱，成永军，张涤新，等.恒压式气体微流量计的性能测试.真空科学与技 术学报25 (3)，2005. ”介绍了当不采用非蒸散型吸气剂泵抽气时，器壁放气引起的测量不确 定度在10_8Pa. m3/s量级为0. 6%，在10_9Pa. m3/s量级为3%。器壁的放气限制了 10_8Pa. m3/ s量级以下流量的精确测量。恒压式气体微流量计的精确测量范围为(lXlO—8 1X10—4) Pa. m3/s ο
技术实现思路
本专利技术的目的是克服现有技术的不足之处，提供一种测量极小气体流量的装 置和方法，完全消除器壁放气的影响，采用固定流导法测量气体流量，使得流量值小于 IXlO-8Pa. m3/s的气体流量能够精确测量，将流量的测量下限延伸到了 10_13Pa. m3/S量级。本专利技术提供了一种测量极小气体流量的装置，包括气瓶、微调阀、稳压室、四个阀本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测量极小气体流量的装置，包括气瓶（１）、微调阀（２）、稳压室（３）、四个阀门、吸气剂泵（７）、分子泵（９）、前级泵（１０）、电容薄膜规（１１）、磁悬浮转子规（１２）以及小孔（１３），其特征在于：气瓶（１）通过微调阀（２）与稳压室（３）连接，小孔（１３）与阀门二（５）并联后一端通过阀门一（４）和稳压室（３）相连，一端和真空系统相连，吸气剂泵（７）通过阀门三（６）和稳压室（３）相连，前级泵（１０）和分子泵（９）串连后通过阀门四（８）和稳压室（３）连接，电容薄膜规（１１）和磁悬浮转子规（１２）直接连接在稳压室（３）的器壁上。

【技术特征摘要】
一种测量极小气体流量的装置，包括气瓶(1)、微调阀(2)、稳压室(3)、四个阀门、吸气剂泵(7)、分子泵(9)、前级泵(10)、电容薄膜规(11)、磁悬浮转子规(12)以及小孔(13)，其特征在于气瓶(1)通过微调阀(2)与稳压室(3)连接，小孔(13)与阀门二(5)并联后一端通过阀门一(4)和稳压室(3)相连，一端和真空系统相连，吸气剂泵(7)通过阀门三(6)和稳压室(3)相连，前级泵(10)和分子泵(9)串连后通过阀门四(8)和稳压室(3)连接，电容薄膜规(11)和磁悬浮转子规(12)直接连接在稳压室(3)的器壁上。2.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：李得天，成永军，冯焱，郭美如，徐婕，
申请(专利权)人：中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所，
类型：发明
国别省市：62[中国|甘肃]