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本发明涉及一种测量极小气体流量的装置，包括气瓶、微调阀、稳压室、四个阀门、吸气剂泵、分子泵、前级泵、电容薄膜规、磁悬浮转子规以及小孔，其中：气瓶通过微调阀与稳压室连接，小孔与阀门二并联后一端通过阀门一和稳压室相连，一端和真空系统相连，吸气剂...该专利属于中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所授权不得商用。