清洗逆渗透膜的自动控制系统技术方案

一种清洗逆渗透膜的自动控制系统包括：逆渗透产水装置，又包含输入阀门、逆渗透机组与至少输出阀门；清洗装置，又包含输入通道与输出通道；计时装置；流量检测装置；导电度检测装置以及控制装置连接于该计时装置、该流量检测装置与该导电度检测装置，当该控制装置接收到清洗信号时，则驱动该清洗装置进入该清洗模式。本实用新型专利技术是通过流量计监控产水率是否维持固定比例；当产水量降低至水量门坎值时，则切换为清洗模式并将药剂通入逆渗透膜；将含有药剂的逆渗透膜静置处理；再依序由低压至高压，进行对逆渗透膜的冲洗；维持高压状态，并使逆渗透膜产生微震现象；当清洗时间大于时间门坎值时，则停止清洗的动作，并将切换为产水模式进行产水动作。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种半导体工艺废水的处理系统，特别涉及一种废水回收系统 中的逆渗透膜的清洗逆渗透膜的自动控制系统。
技术介绍
半导体工艺的废水是分成IC制造以及封装工艺中所产生的废水，在IC制造时， 由于产品种类繁杂，工艺组合多不相同，因此，排出的废水中所含化学物质种类变化也 相当复杂，其中大部分是以纯水清洗芯片、去光阻、蚀刻及温室效应气体燃烧破坏的洗 涤等程序所排放的，一般可略分为酸碱废水及含氟废水，其中主要成份为有机物、金属 离子、悬浮固体、强氧化物及氟离子。另外，在IC封装的过程中所产生的污染废水则包括切割、电镀、浸锡、清洗 过程所产生的废水，依废水种类可分成研磨废水、脱脂废水、酸碱废水、氰化物废水及 重金属废水等，而水中主要的污染物质包括了悬浮固体、油脂、有机物及重金属(Cu、 Ni)。上述的工艺废水，若能通过有效的废水回收系统加以处理，将可恢复产生水质 合乎标准的回收水，继续供应厂区例如工艺用水、间接冷却用水、产品与半成品或原料 清洗用水、空间与生产机械清洗用水、传输用水、原料用水、锅炉用水、直接冷却用 水、空调或温湿度控制用水等的使用，而大幅降低IC制造业的生产成本，并避免对环境 的严重危害。一般来说，半导体厂区所使用的废水回收系统，包括下列多个步骤。首先，将 一工艺废水导入一第一过滤塔中，该第一过滤塔滤膜的孔洞尺寸约为20 100毫米，接 着，将自该第一过滤塔流出的过滤水续导入另一过滤塔中，即一第二过滤塔，而该第二 过滤塔滤膜的孔洞尺寸约为2 10毫米。经该第一过滤塔及该第二过滤塔的过滤程序后，原废水中的较大颗粒的杂质， 应约可被初步的滤除。接着，将自该第二过滤塔流出的过滤水续导入一逆渗透膜的过滤 系统，由于该逆渗透膜为一孔洞尺寸更微小的滤膜系统，例如为1 10埃，因此，可获 得水质合乎工艺再利用标准的回收水，而完成此一工艺废水的回收程序。但因回收系统中的逆渗透膜的高频率使用，遂在孔洞表面处极易形成结垢而阻 塞滤膜，此时若无法提供一有效清洗逆渗透膜的技术，将使滤膜的寿命因此快速终止， 而严重影响整体回收系统的运作。现有清洗逆渗透膜的方法如下所述，首先，将逆渗透 膜通入一药剂，约20分钟，此处的药剂可为一特定浓度的强碱，接着，静置该逆渗透 膜，传统上约需要一日的时间，之后，先以慢压冲洗，再改以快压冲洗逆渗透膜，而完 成此一清洗程序。上述的清洗步骤，由于前后过程约需要耗费两日的时间，且经常于清洗完成 后，该滤膜仍存有阻塞的现象，实为一既不经济又无效率的清洗方法。面对半导体的工 艺日益繁复，亟须更大用水量的同时，势必要开发出一种有效清洗逆渗透膜的方法，使滤膜虽因负载水量的增加，由于实施一有效、得宜的清洗步骤，仍可在废水回收的系统 中继续提供可过滤水质的功能。目前诸多半导体厂，为延长逆渗透膜寿命，降低其对杂质的负载程度，在前处 理阶段例如上述所提的第一过滤塔以及第二过滤塔过滤程序的前后，会加设如活性碳 塔、离子交换树脂塔、微过滤膜、超过滤膜或紫外光灯等的设备，以期提升过滤水于此 阶段时的水质。但同时却须负担增加设备及操作运转上额外多出的成本或是如活性碳、 离子交换树脂塔、微过滤膜、超过滤膜等耗材的大量使用，此些均不符合产业上要求低 成本的考虑。
技术实现思路
鉴于以上的问题，本技术的主要目的在于提供一种清洗逆渗透膜的自动控 制系统，除可延长逆渗透膜的使用寿命外，亦可根据逆渗透膜的状态调整清洗时的运转 功率与运转时间。为达到上述目的，本技术揭露一种清洗逆渗透膜的自动控制系统包括一逆渗透产水装置，其包含一输入阀门、一逆渗透机组与至少一输出阀门，当 该逆渗透产水装置设定为一产水模式时，该逆渗透产水装置通过该输入阀门将一中间水 槽的液体注入该逆渗透机组进行逆渗透处理，并将已处理后的液体借由该输出阀门排 出；一清洗装置，其包含一输入通道与一输出通道，当该清洗装置设定为一清洗模 式时，将该输入通道连接于该输出阀门，该输出通道连接于该输入阀门，使得该逆渗透 产水装置与该清洗装置形成循环结构，并该清洗装置将一清洗药剂注入于该逆渗透机 组；一计时装置，当该逆渗透产水装置在该产水模式中每经过一预设时间时，则该 计时装置发送一清洗信号；一流量检测装置，当该逆渗透产水装置在该产水模式的输出水量低于一水量门 坎值时，则该流量检测装置发送该清洗信号；一导电度检测装置，当该逆渗透产水装置在该产水模式所输出水的导电率高于 一导电率门坎值时，则该导电度检测装置发送该清洗信号；以及一控制装置，其连接于该计时装置、该流量检测装置与该导电度检测装置，当 该控制装置接收到该清洗信号时，则驱动该清洗装置进入该清洗模式。上述的清洗逆渗透膜的自动控制系统，其中，该逆渗透机组中设置至少一逆渗 透膜，将注入该逆渗透机组的液体通过该逆渗透膜进行静置过滤。上述的清洗逆渗透膜的自动控制系统，其中，该逆渗透膜的材质为聚酰胺。上述的清洗逆渗透膜的自动控制系统，其中，该清洗药剂为一强碱。上述的清洗逆渗透膜的自动控制系统，其中，该计时装置在该清洗模式中经过 一运转时间后，该计时装置发送一停止信号至该控制装置，借以停止该清洗装置对该逆 渗透产水装置进行清洗。上述的清洗逆渗透膜的自动控制系统，其中，还包括一离子化装置，其连接于 该输入阀门与该逆渗透机组之间，该离子化装置用以对所通过的液体施加一电场，使得液体中的胶体粒子间产生一互斥力，借以降低胶体粒子的聚合。 控制装置分别电性连接于逆渗透(Revel．ese()smosiS，简称RO)产水装置、清洗装置、计时装置、流量检测装置与导电度检测装置。控制装置用以控制逆渗透产水装置的清洗处理。 逆渗透产水装置包括有高压泵、逆渗透机组与逆渗透产水桶。清洗装置包括有药桶、进药泵、CII)(Cleaning in—place，简称C工P)清洗桶、第七电动阀门、第八电动阀门、与排药泵。 逆渗透产水装置与清洗装置相互连接，其中逆渗透产水装置系利用第四电动阀门与第五电动阀门控制对清洗装置的进水。当清洗装置在进行清洗的过程中，清洗装置系通过第七电动阀门将CII)清洗桶的清洗药剂输出至逆渗透高压泵，借以对逆渗透机组进行循环式的清洗动作。清洗装置在完成清洗后，则开启第八电动阀门并启动排药泵，排出C工P清洗桶中的清洗药剂，直至C工P清洗桶中的清洗药剂水位到达一水位门坎值为止。 计时装置在每经过一预设时间后，计时装置会发送清洗信号至控制装置，借以驱动控制装置对逆渗透产水装置进行清洗的处理。流量检测装置实时的监测逆渗透机组的产水率。当产水率下跌到一水量门坎值时，流量检测装置发送清洗信号至控制装置，借以驱动控制装置对逆渗透产水装置进行清洗的处理。导电度检测装置用以检测逆渗透机组所产生的水的导电率。当逆渗透机组所产生的水的导电率高于一导电率门坎值时，则导电度检测装置发送清洗信号至控制装置，借以驱动控制装置对逆渗透产水装置进行清洗的处理。 本技术的功效在于，所提供的一种清洗逆渗透膜的自动控制系统，当符合上述条件时，可以自动的执行对逆渗透产水装置的清洗处理，借以降低人力控管外，也可以提高逆渗透膜的使用寿命。 以下结合附图和具体实施例对本技术进行详细描述，但不作为对本技术的限定。附图说明 图l为本技术的架本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种清洗逆渗透膜的自动控制系统，其特征在于，包括：一逆渗透产水装置，其包含一输入阀门、一逆渗透机组与至少一输出阀门，当该逆渗透产水装置设定为一产水模式时，该逆渗透产水装置通过该输入阀门将一中间水槽的液体注入该逆渗透机组进行逆渗透处理，并将已处理后的液体借由该输出阀门排出；一清洗装置，其包含一输入通道与一输出通道，当该清洗装置设定为一清洗模式时，将该输入通道连接于该输出阀门，该输出通道连接于该输入阀门，使得该逆渗透产水装置与该清洗装置形成循环结构，并该清洗装置将一清洗药剂注入于该逆渗透机组；一计时装置，其该计时装置连接于该逆渗透产水装置，该计时装置发送一清洗信号；一流量检测装置，其该流量检测装置连接于该逆渗透产水装置该流量检测装置发送该清洗信号；一导电度检测装置，当该逆渗透产水装置在该产水模式所输出水的导电率高于一导电率门坎值时，则该导电度检测装置发送该清洗信号；以及一控制装置，其连接于该计时装置、该流量检测装置与该导电度检测装置，当该控制装置接收到该清洗信号时，则驱动该清洗装置进入该清洗模式。

【技术特征摘要】
1.一种清洗逆渗透膜的自动控制系统，其特征在于，包括一逆渗透产水装置，其包含一输入阀门、一逆渗透机组与至少一输出阀门，当该逆 渗透产水装置设定为一产水模式时，该逆渗透产水装置通过该输入阀门将一中间水槽的 液体注入该逆渗透机组进行逆渗透处理，并将已处理后的液体借由该输出阀门排出；一清洗装置，其包含一输入通道与一输出通道，当该清洗装置设定为一清洗模式 时，将该输入通道连接于该输出阀门，该输出通道连接于该输入阀门，使得该逆渗透产 水装置与该清洗装置形成循环结构，并该清洗装置将一清洗药剂注入于该逆渗透机组； 一计时装置，其该计时装置连接于该逆渗透产水装置，该计时装置发送一清洗信号；一流量检测装置，其该流量检测装置连接于该逆渗透产水装置该流量检测装置发送 该清洗信号；一导电度检测装置，当该...

【专利技术属性】
技术研发人员：余亮台，
申请(专利权)人：东连环保科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]