振动片、振子、振荡器以及电子仪器制造技术

提供一种降低了ＣＩ值且抑制了不必要振动的小型的振动片、振子、振荡器以及电子仪器。压电振动片（８１）具备：一对振动臂（８３），其从基部（２２）一端侧起分成两叉而互相平行地延伸；锤部（８５），被设置在各个振动臂（８３）的前端一侧；具有底部的第１槽部（８７），其沿着各个振动臂（８３）的长度方向设置。在从第１槽部（８７）的基部（２２）一侧到前端一侧的侧面上，形成有第１激励电极（８９）；在从振动臂（８３）的基部（２２）一侧到前端一侧的侧面上，形成有第２激励电极（９０）。在比从各个振动臂（８３）与基部（２２）相连接部分的基端到前端（锤部（８５）的前端）的长度Ｌ的一半Ｌ／２更靠前端一侧的第１槽部（８７）上，形成有用于集中质量的槽内突出部（９５）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及例如由压电体材料所组成的压电振动片等的振动片、振子、振荡器和 使用了这些元件的电子仪器。
技术介绍
一直以来，压电元件被广泛应用于手机等通信仪器、电脑和IC卡等信息设备、以 及其他各种电子仪器中。最近，伴随这些电子仪器的小型化以及高性能化，需要压电元件在 小型化的同时具备有高品质和高稳定性。众所周知，对于弯曲振动模式的压电振动片，为了实现小型化而将振动臂的长度 缩短时，其频率将会增高。因此，通过使振动臂的前端部质量增大，从而能够在不会因该质 量效果导致频率增高的同时而缩短振动臂的长度，进而使压电振动片小型化(例如，参照 专利文献1、幻。很多情况下，使振动臂前端部质量增大是通过将该前端部的宽度形成得比 基端一侧更大而实现的。并且，在音叉型压电振动片中，为了降低CI值，广泛采用在振动臂的两个主面的 至少一个上形成长度方向的槽部，并且在该槽部的内面上将激励电极成膜的结构(例如， 参照专利文献2、。由于在这样的振动臂上，在其侧面的激励电极和槽部内的激励电极之间 产生的电场，广泛地分布在振动臂的截面上，从而能够大幅度地提升电场效率，所以即使将 振动片小型化，振动损失也较小，能够本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种振动片，其特征在于，具有：基部；振动臂，其从所述基部的一端部分起延伸；所述振动臂具备：臂部，其设置在所述基部一侧；锤部，其设置在比所述臂部更靠前端一侧，且宽度比所述臂部更宽；主面，其设置在所述振动臂的前后侧上；侧面，其被形成为，向所述振动臂的长度方向延伸并连接前后侧的所述主面，且相互对置；第１槽部，其为具有底部的槽，且沿所述振动臂的所述长度方向而被形成在至少一侧的所述主面上；第１激励电极，其被形成在连接所述第１槽部的底部与所述一侧的所述主面的槽侧面上；第２激励电极，其被形成在两个所述侧面上；槽内突出部，其被设置在，比在所述长度方向上平分所述振动臂的二等分线更靠所述前端一侧的位置上，且隔着所...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：山田明法，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]