功率分配器制造技术

本发明专利技术描述了一种功率分配器和／或合成器。该功率分配器可被提供为宽带无源的Ｎ分功率分配器，可被有利地用于给等离子体源中的多个电极提供功率。功率分配器包括传输线和围绕传输线布置的Ｎ个次级绕组。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及功率分配器并且特别涉及用于差动功率分配的功率分配器。在第一方 案中，本专利技术提供宽带无源的N分功率分配器，其可以有利地用于给等离子体源中的多个 电极提供功率。
技术介绍
为了利用单个RF(射频)功率源来给等离子体源中的多个电极供应能量，需要将 功率分配到多个通道内。在交流电极相互180度异相的等离子体源拓扑情况中(如PCT/ EP2006/062261中所述，该申请内容通过引用合并于此)，每个电极可以与其相邻电极异 相，这样，能够提供推挽对(push-pull pairs)会很有用。此问题的传统解决方案是使用180度分配器，然后接一系列N: 1分配器，其中在高 功率应用中通常使用2:1和4:1分配器，而在低功率情况中可使用η值更高的分配器。输 出通道之间的相位误差通常将是几度，振幅不平衡度为5%，以及功率损耗为3%;使用一系 列2:1分配器来产生1:128分配器会失败于很大的功率损耗和功率误差，并且具体电极接 收的功率仅是应当接收的功率(0.95~7)的70%。另外，系统仅在输入和输出阻抗(通常是 50欧姆)完全匹配时才工作正常。因为加载在电极上的等离子体基本上是“本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种功率分配器，包括传输线并具有围绕所述传输线布置的Ｎ个次级绕组，所述传输线能够操作地提供方位磁场，所述方位磁场将功率感应耦合至所述Ｎ个次级绕组内，以提供对来自所述传输线的功率的Ｎ分分配。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：艾伯特罗格斯埃林博伊，托马斯米希纳，
申请(专利权)人：都柏林城市大学，
类型：发明
国别省市：IE[爱尔兰]