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本发明描述了一种功率分配器和／或合成器。该功率分配器可被提供为宽带无源的Ｎ分功率分配器，可被有利地用于给等离子体源中的多个电极提供功率。功率分配器包括传输线和围绕传输线布置的Ｎ个次级绕组。...
该专利属于都柏林城市大学所有，仅供学习研究参考，未经过都柏林城市大学授权不得商用。

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