样片取送装置制造方法及图纸

一种样片取送装置，涉及微电子加工设备，其样品装卸室２下方固定旋转密封接头６，步进电机８经过同步齿形带７传动连接旋转密封接头６，与导向杆４滑动配合的样品升降平台３下部与丝杠５连接；样品装卸室２侧壁固定机械手送进气缸１，机械手手臂１６伸入样品装卸室２和反应室１１；样品装卸室２与机械手送进气缸１相对面侧壁具有旋转密封阀门１３，并且联通至反应室１１；反应室１１底部设置四针样品升降机构９和承片台转位机构１０，承片台转位机构１０顶部设置承片台转盘１２。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及微电子加工设备
，具体涉及一种在微电子设备中 使用的样片取送装置。
技术介绍
自动化微电子加工设备在进行样品的传送过程中，不能破坏反应室的真空 环境，样品的传递就需要通过真空锁及真空机械手来完成。通常使用的磁传动 方式存在其永久磁铁会有泄漏磁场，驱动装置也很复杂难于自动化工作，传送 样品精度低，占地面积大等弊病。以极座标方式工作的单臂或双臂折叠三维机 器人式机械手，也因其较短的行程、较小的负载量及高昂的价格使其不适宜在 科研及小批量生产型设备上应用。因此，生产实践亟需要一种价格低廉的简易 实惠的样片取送装置来解决现有技术存在的技术缺陷。
技术实现思路
为了解决现有技术存在的技术缺陷，本技术的目的在于提供一种仅采 用两维平面内运动的机械手来完成样片存取的装置。 为了实现上述目的，本技术的技术方案是一种样片取送装置，包括样品盘承载器15，多个样品托盘14设置在样品 托盘承载器15上，样品托盘承载器15置于样品装卸室2中的样品升降平台3上；其中样品装卸室2下方固定旋转密封接头6，步进电机8经过同步齿形 带7传动连接旋转密封接头6，与导向杆4滑动配合的样品升降平台3下部与 丝杠5连本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种样片取送装置，包括样品盘承载器（１５），多个样品托盘（１４）设置在样品托盘承载器（１５）上，样品托盘承载器（１５）置于样品装卸室（２）中的样品升降平台（３）上；其特征在于：　样品装卸室（２）下方固定旋转密封接头（６），步进电机（８ ）经过同步齿形带（７）传动连接旋转密封接头（６），与导向杆（４）滑动配合的样品升降平台（３）下部与丝杠（５）连接；　样品装卸室（２）侧壁固定机械手送进气缸（１），机械手手臂（１６）伸入样品装卸室（２）和反应室（１１）；　样品装卸 室（２）与机械手送进气缸（１）相对面侧壁具有旋转密封阀门（１３），并且联通至反应室（１１）；　反应室（...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：梁聚宝，薛志杰，李钢，
申请(专利权)人：北京金盛微纳科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]