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一种样片取送装置，涉及微电子加工设备，其样品装卸室２下方固定旋转密封接头６，步进电机８经过同步齿形带７传动连接旋转密封接头６，与导向杆４滑动配合的样品升降平台３下部与丝杠５连接；样品装卸室２侧壁固定机械手送进气缸１，机械手手臂１６伸入样品装...
该专利属于北京金盛微纳科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京金盛微纳科技有限公司授权不得商用。

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