【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体测试领域，特别涉及一种适配板和双工位测试机的改装方法和 测试方法。
技术介绍
随着半导体测试行业不断向前发展，测试成本的不断提高。传统的单工位测试已 经不再满足现在测试的需要，多工位测试已经成为测试发展的必然趋势。多工位测试可以有效的缩短探针台托盘上下移动的次数，从而缩短测试时间，节 约测试成本，提高生产效率。但是并行多工位测试机的价格比单工位测试机的昂贵，目前， 用于测试电源芯片(Power IC)的四台科进(COGENT)测试机都是单工位测试机，这无疑造 成了资源的浪费。因此，有待于提出一种能将单工位测试机改装成双工位测试机甚至多工位测试机 的方法。
技术实现思路
为了解决现有技术中单工位测试机测试时间较长、测量成本很高、测试效率低的 问题，本专利技术提供一种用于将单工位的测试机改装成双工位的测试机适配板、利用所述适 配板的双工位测试机、利用所述双工位测试机的测试方法，以及利用所述适配板将单工位 测试机改装成双工位测试机的方法。根据本专利技术的一方面，提供一种适配板，用于将单工位的测试机改装成双工位的 测试机，包括蜂窝板，将继电器组件固定于蜂...
【技术保护点】
一种适配板，用于将单工位的测试机改装成双工位的测试机，包括：蜂窝板，将继电器组件固定于蜂窝板上的插座，以及转接板；所述转接板连接所述继电器组件的引脚，使所述继电器组件的公共引脚连接单工位测试机、所述继电器组件的第一信号引脚连接第一待测芯片的测试端、所述继电器组件的第二信号引脚连接所述第二待测芯片的测试端，所述第一待测芯片位于第一工位上、所述第二待测芯片位于第二工位上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：严大生，岳青，屈微微，郭万瑾，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]
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